フレキシブル微小機械システムの研究
フレキシブル微小機械システムの研究
柔性微机械系统研究
批准号：
13750216
负责人：
式田 光宏
金额：
$1.41万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2001
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2001 至 2002
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英文摘要
半導体微細加工技術を応用展開したマイクロマシンの研究はメカトロニクスの構成要素である,制御回路,センサー,アクチュエータなどを大きさ数ミリメートル角のシリコンチップ上に集積化できる可能性がある.このため従来にはない知的で微小な機械システムを構築すると期待されている.本研究では実用の域に到達し始めている上記微小機械システムを,更に多種多様の応用機器に展開させるため,新規なシステム構造を提案・開発した.具体的には従来のシステム構造では不可能であった曲面上へのデバイスの張り付けや,厚さ100ミクロン以下の超薄型デバイスを可能とするフレキシブルな薄型機械システム構造を提案しその要素技術を確立した.以下に本研究で得られた成果を示す.(1)上記研究目的を達成するために,微小機械システムの構成要素として新規な構造の能動型接触センサー・熱型センサーを提案しデバイス設計を行った.(2)微小機械システムの構成要素となる微細機械構造体及びセンサー構造体を同一の基板上に集積化するためのデバイス設計及び加工プロセスを開発した.また製作したデバイスの基本動作特性を評価した.(3)微小機械システムの実装形態の検討した.具体的にはデバイスへの配線接続方法(ポリイミドフィルムを用いたフレキシブル配線取り出し方法),パッケージ構造を検討し,実装形態を考慮に入れたシステム構成を実現した.
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M.Shikida, K.Nanbara, T.Koizumi, H.Sasaki, et al.: "A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching : a saddle point in the etching-rate diagram"Sensors and Actuators A. 97-98. 758-763 (2002)
M.Shikida、K.Nanbara、T.Koizumi、H.Sasaki 等人：“解释各向异性硅蚀刻中掩模角底切现象的模型：蚀刻速率图中的鞍点”传感器和执行器 A.97
M.Shikida、K.Nanbara、T.Koizumi、H.Sasaki 等人：“解释各向异性硅蚀刻中掩模角底切现象的模型：蚀刻速率图中的鞍点”传感器和执行器 A.97
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
M.Shikida, T.Shimizu, K.Sato, K.Itoigawa: "Active tactile sensor for detecting contact force and hardness of an object"Sensors and Actuators A. 103. 213-218 (2003)
M.Shikida、T.Shimizu、K.Sato、K.Itoikawa：“用于检测物体的接触力和硬度的主动触觉传感器”Sensors and Actuators A. 103. 213-218 (2003)
M.Shikida、T.Shimizu、K.Sato、K.Itoikawa：“用于检测物体的接触力和硬度的主动触觉传感器”Sensors and Actuators A. 103. 213-218 (2003)
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
T.Shimizu, M.Shikida, K.Sato, K.Itoigawa, Y.Hasegawa: "Micromachined active tactile sensor for detecting contact force and hardness of an object"Proceedings of the 2002 International Symposium on Micro Machine and Human Science. 67-71 (2002)
T.Shimizu、M.Shikida、K.Sato、K.丝藤川、Y.Hasekawa：“用于检测物体接触力和硬度的微机械主动触觉传感器”2002 年微型机械与人类科学国际研讨会论文集。
T.Shimizu、M.Shikida、K.Sato、K.丝藤川、Y.Hasekawa：“用于检测物体接触力和硬度的微机械主动触觉传感器”2002 年微型机械与人类科学国际研讨会论文集。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, et al.: "Non-photolithographic pattern transfer for fabrication arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching"Proceedings of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference. 562-565 (2003)
M.Shikida、M.Odagaki、N.Todoroki、M.Ando 等人：“通过化学各向异性蚀刻制造阵列 3D 微结构的非光刻图案转移”IEEE 微机电系统会议论文集。
M.Shikida、M.Odagaki、N.Todoroki、M.Ando 等人：“通过化学各向异性蚀刻制造阵列 3D 微结构的非光刻图案转移”IEEE 微机电系统会议论文集。
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, et al.: "Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface"Proceedings of Physical chemistry of wet chemical etching of silicon. 78-81 (2002)
M.Shikida、K.Kawasaki、K.Sato、Y.Ishihara、H.Tanaka等人：“在(100)硅表面播种圆形蚀刻坑的纳米机械方法”湿化学物理化学论文集
M.Shikida、K.Kawasaki、K.Sato、Y.Ishihara、H.Tanaka等人：“在(100)硅表面播种圆形蚀刻坑的纳米机械方法”湿化学物理化学论文集
DOI：
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发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 7 条
細径集積化センサデバイスによる肺内部での換気計測システム技術の開発
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批准号：22K12770
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.66万
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财政年份：2022
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负责人：式田 光宏
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依托单位：
マイクロ流体機械システムの研究
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批准号：10750189
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$1.15万
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财政年份：1998
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负责人：式田 光宏
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依托单位：
マイクロマシニング技術によるマイクロアクチュエータの開発
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批准号：08750310
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.7万
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财政年份：1996
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负责人：式田 光宏
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依托单位：