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圧電トランスを用いた放電プラズマ発生器の特性解析とその応用

压电变压器放电等离子体发生器特性分析及应用

基本信息

批准号：
04J00010
负责人：
寺西研二
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Chiba Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

圧電トランス(PT)を用いた小型プラズマリアクタとその応用について検討している。本年度は、PTの表面電位分布絶対値測定法と、PTを用いた小型エキシマランプの開発を中心に研究を行った。PTをプラズマリアクタとして用いる際には、PTの定在波振動に伴って生じる表面電位分布を詳細に知ることが重要である。本研究では、誘電体バリア放電(DBD)発生用電極の背後電極を分割した構造により、PT表面電位分布絶対値測定法について検討した。PTと表面電位検出用電極を含む実験回路の等価回路を考案し、この中で表面電位絶対値を求めるのに必要な係数を実験により決定した。この係数と位置分解して測定した表面電位相対値から、その絶対値を決定した。更に同様の電極構造を用いてDBD発生時の放電電力空間分布についても検討した。これらの成果を第22回強誘電体応用会議と平成18年電気学会全国大会で発表し、応用物理学会英文誌(JJAP)に論文として掲載された。PTにより構成したエキシマランプをHe/Xe混合ガス中で駆動した際の発光特性について検討した。先ず予備実験として、光電管と光学フィルタ用いたVUV検出を行い、200nm以下のVUV放射を確認した。その後分光測定を行った結果、172nmにピークを持った発光スペクトルが観測され、これがXe_2^*エキシマからのVUV放射であることを確認した。これらの成果を「第27回電離気体現象国際会議」(27th ICPIG)、「第2回低温プラズマ源とその応用に関する研究会」(2nd CAPPSA)及び「光源に関する研究会」(LSW 2005)で発表した。現在、これらを論文にまとめ照明学会英文誌に投稿中である。また、PTを用いた放電プラズマ発生法とその応用についてまとめた論文が英国のPlasma Sources and Science and Technology誌に掲載される予定である。

The power supply (PT) is used in small and medium sized applications. This year, PT surface potential distribution measurement method, PT application center development center research It is important to know the surface potential distribution of PT in detail when it is used. In this study, the structure of the back electrode of the electrode for dielectric discharge (DBD) generation and the measurement of the potential distribution on the PT surface were investigated. The electrode used for surface potential detection includes a circuit and an equivalent circuit, and the necessary coefficients for surface potential detection are determined. The position of the coefficient is determined by the surface potential. In addition, the electrode structure of the same type is used to investigate the spatial distribution of electric power during DBD generation. The results of the 22nd session of the Conference on the Application of Strong Inductors were presented at the 18th National Congress of the Society of Electrical Sciences and published in the Journal of Applied Physics (JJAP). The light emission characteristics of He/Xe mixture are discussed in detail. The first step is to prepare the phototube for VUV detection and to confirm VUV emission below 200nm. After the spectroscopic determination, the 172nm wavelength of the VUV emission was determined. The results were presented at the 27th ICPIG, 2nd CAPPSA and LSW 2005. Now, this paper is published in English Journal of Lighting Society. This paper was published in the Journal of Plasma Sources and Science and Technology of the United Kingdom.