课题基金 / 基金详情

Reduction of resistance of ZnO film by the microwave surface wave hydrogen plasma

Reduction of resistance of ZnO film by the microwave surface wave hydrogen plasma
微波表面波氢等离子体降低ZnO薄膜电阻
批准号：
18560025
负责人：
KASHIWAGI Kunihiro
金额：
$2.43万
依托单位：
Toyo University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560025/
关键词：
低抵抗ZnO薄膜透明導電膜マイクロ波表面波H_2 プラズマP型ZnOZnO膜N_2プラズマZn0透明導電膜H_2プラズマZnO透明導電膜

项目摘要

项目成果

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翻译
通常ZnOは化学量論比上の結合では、透明で高い電気的絶縁性を持っている。イオンプレーティング法で形成されたZnO膜にマイクロ波表面波(1000W)で励起したH_2 プラズマを30(sec)程度照射する事で、膜の可視領域における光学的透過率を下げることなく、また他の種々な金属元素をドープすることなく電気的な抵抗率を~10^<-3>(Ωcm)まで下げる事ができた。よってZnOの透明導電膜としての新しい応用が可能である。
英文摘要
通常ZnOは化学量論比上の結合では、透明で高い電気的絶縁性を持っている。イオンプレーティング法で形成されたZnO膜にマイクロ波表面波(1000W)で励起したH_2 プラズマを30(sec)程度照射する事で、膜の可視領域における光学的透過率を下げることなく、また他の種々な金属元素をドープすることなく電気的な抵抗率を~10^<-3>(Ωcm)まで下げる事ができた。よってZnOの透明導電膜としての新しい応用が可能である。
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Microstructure and randaom magnetic anisotropy in Fe-Ni based nanocrystalline thin filmas
Fe-Ni基纳米晶薄膜的微观结构和随机磁各向异性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Physics D : Applied Physics 41(15)
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作者： [S.THOMAS, S.H.Al-HARTHI, Y.YOSHIDA(6), et.al.]
通讯作者： et.al.
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微波表面波H2等离子体表面处理对ZnO薄膜的影响。
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Proc. of the 4th Int. International Symposium on Bioscience and Nanotechnology.
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作者： [T. NAKAYAMA,T.TAKIZAWA, Y. SAKAMOTO, K.KASHIWAGI, A.SHOJI et al., T.NAKAYAMS et al., T.NAKAYAMS et al., Y.SATA et al.]
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DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Umahashi, K. Kashiwagi, H. Morita, A. Kurokouchi, K. Wada, Y. Yoshida]
通讯作者： Y. Yoshida
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DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Physics D : Applied Physics 41(18)
影响因子： --
作者： [E.Veena GOPALAN, K.A.MALINI, Y.YOSHIDA(5), et.al.]
通讯作者： et.al.
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