Reduction of resistance of ZnO film by the microwave surface wave hydrogen plasma

微波表面波氢等离子体降低ZnO薄膜电阻

• 批准号: 18560025
• 负责人: KASHIWAGI Kunihiro
• 金额: $ 2.43万
• 依托单位: Toyo University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560025/
• 关键词: 低抵抗ZnO薄膜; 透明導電膜; マイクロ波表面波; H_2 プラズマ; P型ZnO; ZnO膜; N_2プラズマ; Zn0透明導電膜; H_2プラズマ; ZnO透明導電膜

通常ZnOは化学量論比上の結合では、透明で高い電気的絶縁性を持っている。イオンプレーティング法で形成されたZnO膜にマイクロ波表面波(1000W)で励起したH_2 プラズマを30(sec)程度照射する事で、膜の可視領域における光学的透過率を下げることなく、また他の種々な金属元素をドープすることなく電気的な抵抗率を~10^<-3>(Ωcm)まで下げる事ができた。よってZnOの透明導電膜としての新しい応用が可能である。

ZnO is usually chemically combined with transparent and highly electrically insulating materials. The ZnO film is formed by the method of excitation of surface wave (1000W) and the optical transmittance of the film in the visible field decreases by ~10^<-3>(Ωcm). ZnO transparent conductive film and its new application

项目成果

Microstructure and randaom magnetic anisotropy in Fe-Ni based nanocrystalline thin filmas

Fe-Ni基纳米晶薄膜的微观结构和随机磁各向异性

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Physics D : Applied Physics 41(15)
• 作者: S.THOMAS;S.H.Al-HARTHI;Y.YOSHIDA(6);et.al.
• 通讯作者: et.al.

Effect of the microwave surface wave H2 plasma surface treatment on ZnO film.

微波表面波H2等离子体表面处理对ZnO薄膜的影响。

• 发表时间: 2006
• 期刊: Proc. of the 4th Int. International Symposium on Bioscience and Nanotechnology.
• 作者: T. NAKAYAMA,T.TAKIZAWA;Y. SAKAMOTO;K.KASHIWAGI;A.SHOJI et al.;T.NAKAYAMS et al.;T.NAKAYAMS et al.;Y.SATA et al.
• 通讯作者: Y.SATA et al.

Thermoelectric properties of Cu_2O thin films.

Cu_2O薄膜的热电性能。

• 发表时间: 2007
• 作者: S. Umahashi;K. Kashiwagi;H. Morita;A. Kurokouchi;K. Wada;Y. Yoshida
• 通讯作者: Y. Yoshida

Evidence for polaron codduction in nanostructured manganese ferrite

纳米结构锰铁氧体中极化子传导的证据

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Physics D : Applied Physics 41(18)
• 作者: E.Veena GOPALAN;K.A.MALINI;Y.YOSHIDA(5);et.al.
• 通讯作者: et.al.

The surface modification effect by irradiation of a surface wave excited hydrogen plasma onto zinc oxide films

表面波激发氢等离子体照射氧化锌薄膜的表面改性效果

• 发表时间: 2006
• 期刊: Proc. Of the XXIIth International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum
• 作者: T.NAKAYAMA;Y.SATA;K.KASHIWAGI;et.al.
• 通讯作者: et.al.