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Basic research of ultrahigh density toribo-memory using nanoperiod multilayer films as storage media

Basic research of ultrahigh density toribo-memory using nanoperiod multilayer films as storage media
以纳米周期多层薄膜为存储介质的超高密度toribo存储器的基础研究
批准号:
18560140
负责人:
MIYAKE Shojiro
金额:
$2.68万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2006
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2006 至 2008

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
超高密度記録媒体として物性の異なった層を積層した(Si/C),(C/BN)等のナノ周期積層膜を形成した。ここで(Si/C),(C/BN)膜については1nm 膜厚のナノ周期積層膜を実現した。超高密度記録のためのナノ加工特性の検討として、導電性加工工具(チップ)を用い放電と機械作用を併用した新しい加工を実現した。さらに原子間力顕微鏡(AFM)でダイヤモンドチップを用いて、1 層(1nm)以下の機械加工を実現した。ナノ周期積層膜に加工された情報を再生する方法として、(1)形状差、(2)摩擦力の差、(3)電流分布の差を取り上げ、加工深さに対応する物性の差を評価した。
英文摘要
超高密度記録媒体として物性の異なった層を積層した(Si/C),(C/BN)等のナノ周期積層膜を形成した。ここで(Si/C),(C/BN)膜については1nm 膜厚のナノ周期積層膜を実現した。超高密度記録のためのナノ加工特性の検討として、導電性加工工具(チップ)を用い放電と機械作用を併用した新しい加工を実現した。さらに原子間力顕微鏡(AFM)でダイヤモンドチップを用いて、1 層(1nm)以下の機械加工を実現した。ナノ周期積層膜に加工された情報を再生する方法として、(1)形状差、(2)摩擦力の差、(3)電流分布の差を取り上げ、加工深さに対応する物性の差を評価した。
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会议论文
Nanofabrication by mechanical and electrical processes using electrically conductive diamond tip
使用导电金刚石尖端通过机械和电气工艺进行纳米加工
DOI: --
发表时间: 2008
期刊: J. Vac. Sci. Technol B, 26,5
影响因子: --
作者: [S. Miyake, H. Zheng, J. Kim, and M. Wang]
通讯作者: and M. Wang
DOI: --
发表时间: 2007
期刊: トライボロジー会議2007春東京予稿集 (未定)
影响因子: --
作者: [押元幸一, 黒坂渡, 三宅正二郎]
通讯作者: 三宅正二郎
Nanometer scale mechanical property evaluation of various cured lubricant and DLC film coated magnetic disk by force modulation atomic force microscopy
力调制原子力显微镜评价各种固化润滑剂和DLC膜涂层磁盘的纳米级机械性能
DOI: --
发表时间: 2009
期刊:
影响因子: --
作者: [W. Kurosaka, S. Miyake]
通讯作者: S. Miyake
DLC極薄膜の直進往復摩擦摩耗特性
DLC超薄膜线性往复摩擦磨损特性
DOI: --
发表时间: 2007
期刊:
影响因子: --
作者: [松本 安哲, 小宮 光貴, 黒坂 渡, 三宅 正二郎]
通讯作者: 三宅 正二郎
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    Study on mechanism of extremely low friction of thin carbonaceous films and their applications
    • 批准号:
      21360076
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $10.9万
    • 财政年份:
      2009
    • 负责人:
      MIYAKE Shojiro
    • 依托单位:
    Creation and Tribology of Extremely Low Friction Super Lattice Solid Lubricant Films
    • 批准号:
      12450069
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $6.21万
    • 财政年份:
      2000
    • 负责人:
      MIYAKE Shojiro
    • 依托单位:
    Atomic scale wear of layred crystal structure material by atomic force microscope
    • 批准号:
      07650179
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额:
      $1.28万
    • 财政年份:
      1995
    • 负责人:
      MIYAKE Shojiro
    • 依托单位:
    Microtribology of Super hard films
    • 批准号:
      04650072
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • 资助金额:
      $1.22万
    • 财政年份:
      1992
    • 负责人:
      MIYAKE Shojiro
    • 依托单位:
    海外基金