Micro-structured glass devices made by embossing

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Ziel des Vorhabens ist die Herstellung von mikrostrukturierten Glasbauteilen unter Nutzung von Prägetechnologien. Dazu wird als Prozesstechnik eine Werkstoffprüfmaschine mit einer Heizeinrichtung derart modifiziert, dass flexible Temperatur-Zeit-Verläufe zusammen mit flexiblen Kraft-Zeit-Verläufen bzw. Verformungs-Zeit-Verläufen realisiert werden können. Verschiedene Glasmaterialien, Werkzeugmaterialien sowie Prozessparameterkombinationen werden bezüglich der Eignung für das Prägen von Mikrostrukturen in Gläsern untersucht. Dabei stehen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, Strukturhöhen bis 100 µm und laterale Abmessungen um 10 µm im Vordergrund. Die günstigsten Prägeparameter werden für Gläser mit unterschiedlicher Viskositäts-Temperatur-Kurve ermittelt. Anwendungsgebiete der mikrostrukturierten Glasbauteile sind die Mikrotechnik allgemein und im besonderen die Fluidtechnik sowie die chemische Reaktionstechnik.