Belichtung und Gefügemodifizierung mittels UV-Laserstrahlung zur Mikrostrukturierung fotostrukturierbarer Gläser

使用紫外激光辐射进行微结构光结构玻璃的曝光和结构改性

• 批准号: 5219902
• 负责人: Professorin Dr.-Ing. Dagmar Hülsenberg
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5219902?language=en
• 关键词: Belichtung; und; Gef; gemodifizierung; mittels

Ziel des Vorhabens ist die Nutzung von Wechselwirkungsprozessen zwischen UV-Laserstrahlung und fotostrukturierbaren (dotierten)- sowie undotierten Gläsern als Ursache für Belichtungswirkungen und Gefügemodifizierungen im Glas. Die Mikrostrukturierung der Gläser erfolgt durch anschließendes, naßchemisches Ätzen der modifizierten, kristallinen Bereiche. Drei Ansätze für den Strukturierungsprozeß werden untersucht:- Erzielung einer Belichtungswirkung (fotochemische Modifizierung) in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Temper-/Ätzprozeß.- Erzielung von komplexen Wechselwirkungen im Sinne einer heterogenen Keimbildung (laserinduzierte gesteuerte Kristallisation) in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Ätzprozeß.- Erzielung von komplexen Wechselwirkungen im Sinne einer homogenen Keimbildung in undotierten Gläsern mit anschließendem Ätzprozeß.Zur Realisierung der drei Ansätze werden unterschiedliche UVLaserstrahlquellen erprobt. Die Zusammenhänge zwischen wichtigen Prozeß- und Laserparametern und der erzeugten Strukturgeometrie stehen im Mittelpunkt des Forschungsvorhabens. Die Leistungsfähigkeit und Flexibilität des Verfahrens, im Vergleich zum Standardbelichtungsverfahren mit dem Maskaligner, soll anhand von Demonstratorstrukturen gezeigt werden.

Ziel des Vorhabens ist die Nutzung von Wechselenge kungsprozessen zwischen UV-Laserstrahlung und fotostrukturierbaren（dotierten）- sowie undotierten Gläsern als Ursache für Belichtungswirkungen und Gefügemodifizierungen im Glas.玻璃的微结构是通过化学修饰、结晶化、结晶化而形成的。Drei Ansätze für den Strukturierungsprozeken韦韦尔登untersucht：- Erzielung einer Belichtungswirkung（fotochemische Modifizierung）in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Temper-/Ätzprozeken.- Erzielung von komplexen Wechselfenkungen im Sinne einer heterogenen Keimbildung（laserinduzierte gesteuerte Kristallisation）in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Ätzprozeberg.-通过在玻璃底衬中采用无源探测器的方法，在Sinne中对复合材料进行了均匀的基础培养。因此，三个探测器的韦尔登不受紫外激光照射。该Zusammenhänge zwischen wichtigen Prozetron- und Laserparametern und der erzeugten Strukturgeometrie stehen im Mittelpunkt des Forschungsvorhabens.在使用Maskaligner的标准化测试中，测试的精度和灵活性取决于韦尔登的结构。