Belichtung und Gefügemodifizierung mittels UV-Laserstrahlung zur Mikrostrukturierung fotostrukturierbarer Gläser

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Ziel des Vorhabens ist die Nutzung von Wechselwirkungsprozessen zwischen UV-Laserstrahlung und fotostrukturierbaren (dotierten)- sowie undotierten Gläsern als Ursache für Belichtungswirkungen und Gefügemodifizierungen im Glas. Die Mikrostrukturierung der Gläser erfolgt durch anschließendes, naßchemisches Ätzen der modifizierten, kristallinen Bereiche. Drei Ansätze für den Strukturierungsprozeß werden untersucht:- Erzielung einer Belichtungswirkung (fotochemische Modifizierung) in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Temper-/Ätzprozeß.- Erzielung von komplexen Wechselwirkungen im Sinne einer heterogenen Keimbildung (laserinduzierte gesteuerte Kristallisation) in fotostrukturierbaren Gläsern mit anschließendem Ätzprozeß.- Erzielung von komplexen Wechselwirkungen im Sinne einer homogenen Keimbildung in undotierten Gläsern mit anschließendem Ätzprozeß.Zur Realisierung der drei Ansätze werden unterschiedliche UVLaserstrahlquellen erprobt. Die Zusammenhänge zwischen wichtigen Prozeß- und Laserparametern und der erzeugten Strukturgeometrie stehen im Mittelpunkt des Forschungsvorhabens. Die Leistungsfähigkeit und Flexibilität des Verfahrens, im Vergleich zum Standardbelichtungsverfahren mit dem Maskaligner, soll anhand von Demonstratorstrukturen gezeigt werden.