プローブ型データ記録装置への応用を目指す超高性能MEMS静電インチワームモータ

超高性能MEMS静电尺蠖电机旨在应用于探针型数据记录设备

• 批准号: 18810010
• 负责人: SARAJLIC Edin
• 金额: $ 1.78万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18810010/
• 关键词: マイクロマシン; マイクロアクチュエータ; 微小位置決め; データ記録装置; シリコン; 尺取虫駆動; マイクロマシニング; 垂直トレンチ分離

このプロジェクトの目的は、データ記憶装置のための高性能な静電ステッピング・モータを開発することである。これらの装置には、「データ保存のための探針位置決め」と「ハードディスクドライブのトラッキング機構」も含まれる。私たちはマイクロ静電機械を用いて12bitのデジタル、アナログ変換機(12-bit MEMDAC)を製作しテストした。[J1,C1]。そして直線[C4]もしくは回転[C5]運動をする、静電3相ステッピング・モータを試作した。これらのモータにより、データ保存容量と記憶装置の性能向上が期待できる。従来のモータと比較して、このマイクロモータには以下の利点がある。(1)Open-loopで操作が可能、(2)電圧のインプットノイズに影響されない、(3)出力変位が再現可能な点である。マイクロモータを現実的に作製できるかどうかは、その微細加工が可能かどうかに強く依存している。そのために私たちは新しい作製手法を開発し、実行した[J2,J3,C2,C3,C4]。これらの開発した方法と、垂直溝による分離[C4]、HAREM [J3,C2]により、マイクロモータの駆動部と固定部の作動部品同士を、適切に絶縁ができるようになった。洗練されたこの電気的絶縁法は、全く新しい種類のマイクロシステムを可能にすると同時に、設計を容易にし、現存するモータの性能をさらに向上させることができる。

In order to improve the performance of the system, the system is designed to perform high-performance, low-performance, high-performance, low-performance, low-performance, high-performance, high-performance, low-performance, high-performance, high-performance, low-performance, high-performance, high-performance, low-performance, high-performance, low-performance, low-performance, high-performance, high-performance, low-performance, low-performance, high-performance, high-performance, low-performance, high-performance, Please check the location of the equipment, the location of the device, the location of the device. The private telephone is used for the purpose of using the 12bit machine and the 12-bit MEMDAC machine as the vehicle. [J1,C1] . On the straight line [C4], please send a response to [C5], and send a message back to [C5]. If you want to do so, please do so. The performance of the storage capacity recording device is expected to increase. Let's talk about how to make sure that we don't know what's going on. (1) Open-loop operation may be possible, (2) electrical equipment may be affected, and (3) the output position may be affected again. It is possible that the operation of micromachining and micromachining may be dependent on each other. Let's talk about the new ways of doing things [J2, J3, C2, C3, C4]. You can use the following methods: the method, the vertical device separation [C4], the HAREM [J3c2] engine, the fixed part of the locomotive department, the operator of the fixed part, and the operator of the machine. In order to improve the performance of modern electric machines, it is possible to improve the performance of these computers at the same time, in the same time, as well as in the design and storage system.

项目成果

Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement

机械位移数模转换柔顺机构设计与建模

• 发表时间: 2007
• 期刊: Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2(3)
• 作者: Edin Sarajlic;Dominique Collard;Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
• 通讯作者: Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita

2007 Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement

2007 机械位移数模转换柔顺机构设计与建模

• 发表时间: 2007
• 期刊: Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2007 (IEEJ Trans 2007) 2
• 作者: Edin Sarajlic;Dominique Collard;Hiroshi Toshiyoshi;Hiroyuki Fujita
• 通讯作者: Hiroyuki Fujita

HAREM:High Aspect Ratio Etching and Metallization

HAREM：高深宽比蚀刻和金属化

• 发表时间: 2008
• 作者: E.Sarajlic;C. Yamahata;M. Cordero;D. Collard;H. Fuiita
• 通讯作者: H. Fuiita

Electrostatic 3-phase rotary stepper motor for hard-disk drives

用于硬盘驱动器的静电三相旋转步进电机

• 发表时间: 2009
• 作者: Edin Sarajlic;C. Yamahata and Hiroyuki Fujita
• 通讯作者: C. Yamahata and Hiroyuki Fujita

Electrostatic 3-phase linear stepper motor fabricated by vertical trench isolation technology

采用垂直沟槽隔离技术制造的静电三相线性步进电机

• 发表时间: 2008
• 作者: Edin Sarajlic;Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita
• 通讯作者: Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita