Electrostatic 3-phase linear stepper motor fabricated by vertical trench isolation technology
Electrostatic 3-phase linear stepper motor fabricated by vertical trench isolation technology
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采用垂直沟槽隔离技术制造的静电三相线性步进电机
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Edin Sarajlic;Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita
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DOI：
10.1109/jmems.2002.800937
发表时间：
2001-01
期刊：
Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.01CH37090)
影响因子：
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作者：
R. Yeh;S. Hollar;K. Pister
通讯作者：
R. Yeh;S. Hollar;K. Pister
表面微机械线性静电步进电机
DOI：
10.1109/memsys.1997.581806
发表时间：
1997
期刊：
Proceedings IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots
影响因子：
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作者：
N. Tas;A. H. Sonnenberg;A.F.M. Sander;M. Elwenspoek
通讯作者：
M. Elwenspoek
影响因子：
2.3
作者：
Lijie Li;J. G. Brown;D. Uttamchandani
通讯作者：
D. Uttamchandani
静电洗牌电机的建模、设计和测试
影响因子：
4.6
作者：
N. Tas;J. Wissink;L. Sander;T. Lammerink;M. Elwenspoek
通讯作者：
M. Elwenspoek
影响因子：
2.7
作者：
Akiyama, T;Collard, D;Fujita, H
通讯作者：
Fujita, H