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Control of metal oxide nano-structure by radio-frequency impulse discharge under fast gas flow in small diameter tubes

Control of metal oxide nano-structure by radio-frequency impulse discharge under fast gas flow in small diameter tubes
小直径管内快速气流射频脉冲放电控制金属氧化物纳米结构
批准号：
18340182
负责人：
IIZUKA Satoru
金额：
$8.12万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18340182/
关键词：
プラズマ応用高周波インパルス放電細管内表面処理金属酸化物ナノ粒子MgO膜スパッタリングマイクロプラズマZnO膜大気圧放電

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
アルゴン酸素プラズマ反応性スパッタリングによって, MgOの球状で単結晶, 中空ナノ微粒子の生成に初めて成功した. 粒子の直径は100nm程度である. また, Mg有機化合物を用いたプラズマCVD 法によって, 内面壁に規則的に垂直突起状のナノロッドを生成できることが明らかになった. ナノロッドの間隔が狭くなると, 次第に表面が滑らかな一様な薄膜になることが明らかになった. さらに, ZnOナノワイヤの形成も観測された.以上のように, 金属酸化物薄膜の表面構造をナノスケールで制御堆積する方法が実証された.
英文摘要
アルゴン酸素プラズマ反応性スパッタリングによって, MgOの球状で単結晶, 中空ナノ微粒子の生成に初めて成功した. 粒子の直径は100nm程度である. また, Mg有機化合物を用いたプラズマCVD 法によって, 内面壁に規則的に垂直突起状のナノロッドを生成できることが明らかになった. ナノロッドの間隔が狭くなると, 次第に表面が滑らかな一様な薄膜になることが明らかになった. さらに, ZnOナノワイヤの形成も観測された.以上のように, 金属酸化物薄膜の表面構造をナノスケールで制御堆積する方法が実証された.
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会议论文
Spherical MgO microparticle deposition by RF impulse discharge with small coaxial electrode
小同轴电极射频脉冲放电沉积球形氧化镁微粒
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Thin Solid Films 518
影响因子： --
作者： [南川雅男(共著), Takumasa Muraoka]
通讯作者： Takumasa Muraoka
RF impulse barrier discharge for MgO microparticle production in sub-atmospheric pressure regime
低于大气压条件下的射频脉冲势垒放电用于生产氧化镁微粒
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 14th Inter. Conf. on Plasma Physics
影响因子： --
作者： [村岡琢正, 飯塚哲]
通讯作者： 飯塚哲
Production of ZnO Nanowires in Hollow-Type Magnetron O2 / Ar RF Plasma
空心型磁控管 O2/Ar 射频等离子体制备 ZnO 纳米线
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas
影响因子： --
作者： [Endo, S., Wallis, S.R., Hirata, T., Anczkiewicz, R., Platt, J.P., Thirlwall, M., and Asahara, Y., Hideki Ono]
通讯作者： Hideki Ono
高周波インパルスプラズマCVDによる微細ガラス管内MgO薄膜の生成
高频脉冲等离子体 CVD 在细玻璃管中生成 MgO 薄膜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Hattori, K. H., Wallis, S.R., Enami, M. and Mizukami, T., 小野秀樹, 水上知行, 樫村透]
通讯作者： 樫村透
共 48 条
    Basic process of lower-order organic compound synthesis via carbon dioxide reduction induced by low temperature plasma radical reactions
    • 批准号：
      23654198
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      IIZUKA Satoru
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Development of a next-generation engineering LES model seamlessly combined with meteorological data
    • 批准号：
      22760438
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      IIZUKA Satoru
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Formation of lower order cluster molecules by a precise control of low energy electron plasma
    • 批准号：
      21340167
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.57万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      IIZUKA Satoru
    • 依托单位：
      Tohoku University
    A study on subgrid-scale modeling for a next-generation CFD method