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A new technological development for functional ceramic coatings by solution-spraying thermal plasma CVD under controlled atmospheres

A new technological development for functional ceramic coatings by solution-spraying thermal plasma CVD under controlled atmospheres
可控气氛溶液喷涂热等离子体CVD功能陶瓷涂层新技术进展
批准号：
18360307
负责人：
SHIMADA Shiro
金额：
$11.14万
依托单位：
Hokkaido University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360307/
关键词：
機能性セラミックス雰囲気制御熱プラズマCVD機能性セラミックスコーティング耐磨耗性複合膜

项目摘要

项目成果

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英文摘要
現在、塩化物ガスを使用した熱CVD法でWC-Co超硬上へ様々なセラミックスコーティングが施され、工業的に切削工具として使用されている。この成膜法は、比較的高いコーティング温度(~1050℃)によるWC-Coの劣化、塩化物ガスによる環境汚染などの問題点がある。著者は、比較的安価で取り扱いが容易でしかも環境に易しいアルコキシド溶液を熱プラズマ中へ噴霧する新規なコティング法を開発し、低温(<800℃)で窒化物・炭化物・ホウ化物・酸化物の単相膜、複合膜、多層膜などを作製した。これらのコーティング膜は市販のTiNや二層膜TiN/Al_2O_3と比較しても同程度かより優れた耐摩耗性を示した。
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会议论文
Coatings and microstructures of monolithic TiB2 films and double layer and composite TiCN/TiB2 films from alkoxide solutions by thermal plasma CVD
DOI： 10.1016/j.tsf.2007.11.093
发表时间： 2008-08
期刊： Thin Solid Films
影响因子： 2.1
作者： [S. Shimada;M. Takahashi;H. Kiyono;J. Tsujino]
通讯作者： S. Shimada;M. Takahashi;H. Kiyono;J. Tsujino
熱プラズマCVD 法によるTiB_2-SiNx二層膜の作製とその耐摩耗性評価
热等离子体CVD法制备TiB_2-SiNx双层薄膜及其耐磨性评价
DOI： --
发表时间： 2006
期刊：
影响因子： --
作者： [藤祐輔, 嶋田志郎, 清野肇]
通讯作者： 清野肇
Deposition and wear resistance of Ti–B–N–C coatings on WC–Co cutting tools from alkoxide solutions by thermal plasma CVD
DOI： 10.1016/j.surfcoat.2007.01.041
发表时间： 2007-05
期刊： Surface & Coatings Technology
影响因子： 5.4
作者： [S. Shimada;M. Takahashi;J. Tsujino;Isao Yamazaki;K. Tsuda]
通讯作者： S. Shimada;M. Takahashi;J. Tsujino;Isao Yamazaki;K. Tsuda
Synthesis of Al2O3–SiO2 Films by Ar/O2 Plasma‐Enhanced CVD from Alkoxide Precursors
DOI： 10.1002/cvde.200504223
发表时间： 2006-05
期刊： Chemical Vapor Deposition
影响因子： --
作者： [Yuan-shi Li;S. Shimada;A. Hirose]
通讯作者： Yuan-shi Li;S. Shimada;A. Hirose
共 10 条
    Creative Fabrications and Functional Controls of New Inorganic Materials
    • 批准号：
      11450331
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
    • 资助金额：
      $3.71万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      SHIMADA Shiro
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    Development and High Resistance in Severe Environment of β-Sialon Composites Materials with Controlled Microstructure
    • 批准号：
      09355029
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $15.68万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      SHIMADA Shiro
    • 依托单位：
      HOKKAIDO UNIVERSITY
    FORMATION OF NOVEL CARBON BY CONTROLLED OXIDATION CARBIDES AND DEVELOPMENT TO FABRICATION OF CARBIDE/CARBIDE COMPOSITES
    • 批准号：
      08455402
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $4.54万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      SHIMADA Shiro
    • 依托单位：
      HOKKAIDO UNIVERSITY
    Interfacial reaction and cracking mechanism on oxidation of metal carbides
    • 批准号：
      04453062
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $3.46万
    • 财政年份：
      1992
    • 负责人：
      SHIMADA Shiro
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    海外基金