超高密度磁気記録媒体用FePtナノ構造の実現

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L10構造を持つFePtは高い結晶磁気異方性から超高密度磁気記録媒体用材料として期待されている。FePtを磁気記録媒体として使用するためには、完全c軸配向した5nm程度のナノ粒子を磁気的に孤立させて粒子サイズ分散を小さく維持しつつ、高密度に分散させなければならない。このために、これまで(001)MgO単結晶基板の上に、グラニュラー膜をエピクキシャル成長させる研究が行われてきたが、実用化のためには、高価なMgO単結晶基板ではなく、ガラス基板の上にソフト相下地を堆積し、その上に配向膜を成長させる必要がある。このような実用に適した高密度磁気記録媒体構造をFePtを用いて実現させるために、本研究ではまず酸化Si基板上にMgO下地をスパッタ法で成長させ、その上にc軸を配向させたFePtグラニュラー膜を作製することに成功した。また軟磁性層アモルファス下地の熱処理による磁気特性変化ならびに構造変化も調査し、下地材料としての軟磁気特性を最適化する条件を検討した。軟磁性下地層にFePt-Cグラニュラー膜をc軸配向させるために、アモルファスSiO2下地の上にMgO/FePt-C2層膜を成長させる条件の探索を行った。