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氷点下(クライオ)プラズマを用いたプロセス

使用低于零（低温）等离子体的工艺

基本信息

批准号：
07J01490
负责人：
野間由里
金额：
$ 1.15万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究ではガス温度領域が数千ケルビンから数万ケルビンの熱プラズマ、室温から数千ケルビンの低温プラズマに続く新温度領域である室温から数千ケルビンの低温プラズマに続く新温度領域である室温以下のプラズマ、クライオプラズマの発生・診断を行っており、それと同時に発生・診断により得られる知見からクライオプラズマ応用の可能性も示唆し、プラズマ科学及びプラズマプロセス工学の新しい研究領域の創成を最終目的とする。今までに連続的に温度を変化(4〜300K)させてヘリウムガスを作動ガスとしてクライオプラズマの発生を行った。そして、プラズマのガス温度低下すなわちガス分子の運動エネルギー低下とともに状態がどのように変化していくのかを調べると、クライオプラズマの様子をはじめとし分子間相互作用、電気学的特性、それから分光学的特性がプラズマのガス温度低下に伴い遷移していくことが確認された。そして応用の観点からは、このガス温度低下すなわちガス分子の運動エネルギー低下にともなうプラズマ状態の遷移により、低温環境を利用したプラズマエッチングやプラズマ薄膜生成のようにプラズマを室温以下でプロセスへ応用する際のプラズマのガス温度を診断することの必要性や遷移に伴い現れたクライオプラズマの特徴を活かしたプロセス応用の可能性が示唆された。このことから、クライオマイクロプラズマの発生・診断・材料プロセスに関する総括的な知見を得るという当初の研究実施計画が達成されたと言える。

This study ではガスが thousands of temperature field ケルビンから tens of thousands of ケルビンの hot プラズマ, room temperature から thousands ケルビンの cryogenic プラズマに続く new temperature field である room temperature から thousands ケルビンの cryogenic プラズマに続く new temperature field である under room temperature のプラズマ, クライオプラズマの発 raw, line diagnosis をっており, それと simultaneously に発 raw, diagnostic により have られる knowledge からクライオプラズマ応 possibility with のも business し, プラズマ science and びプラズマプロセス engineering の new しのい research into constructing を final purpose とする. Today までに even 続をに temperature variations change (4 ~ 300 k) させてヘリウムガスを actuation ガスとしてクライオプラズマの発 raw を line った. そして, プラズマのガス low temperature すなわちガス molecular の movement エネルギー low とともに state がどのように variations change していくのかを adjustable べると, クライオプラズマの others child をはじめとし intermolecular interactions, the features of electric 気 learn, それから points and the characteristics of optical がプラズマのガスに with low temperature い migration して Youdaoplaceholder0 くとが confirm された. そして応 with の観 point からは, このガス low temperature すなわちガス molecular の movement エネルギー low にともなうプラズマの migration によをり, low temperature environment using したプラズマエッチングやプラズマ film generated のようにプラズマを under room temperature でプロセスへ応 with する interstate のプラズマのガス temperature を diagnosis することの necessity に with や migration い now れたクライオプラズマの, 徴を live かしたプロセス応 use がの possibility to show business された. このことから, クライオマイクロプラズマの発, diagnosis, raw material プロセスに masato する総 enclosed な know see を have るというの original research be applied plan が reached されたと said える.