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Growth of GaN thin film and fabrication of vertical light emitting diode using CrN nano-crystalline buffer layer

Growth of GaN thin film and fabrication of vertical light emitting diode using CrN nano-crystalline buffer layer
GaN薄膜的生长及CrN纳米晶缓冲层垂直发光二极管的制作
批准号：
19560008
负责人：
HANADA Takashi
金额：
$2.83万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560008/
关键词：
薄膜成長光素子窒化物半導体

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サファイヤc面基板上に高品質GaNを成長するためCrNバッファ層を導入した。CrN層は過塩素酸ベースの混合溶液で選択的に化学エッチングされ、GaN自立膜を基板からケミカルリフトオフ(CLO)できた。CLOプロセスによるダメージの導入はなく、縦型GaN-LEDを作製し電流注入発光を観測した。CLOにより複数基板からのLED剥離は一括処理でき、基板は再利用できるため、従来のGaN-LED作製法に比べ大幅なコスト低減が可能となる。
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会议论文
Lattice strain in bulk GaN epilayers grown on CrN/sapphire template
DOI： 10.1063/1.3086890
发表时间： 2009-02-23
期刊： APPLIED PHYSICS LETTERS
影响因子： 4
作者： [Lee, S. W., Ha, Jun-Seok, Yao, T.]
通讯作者： Yao, T.
The fabrication of vertical light-emitting diodes using chemical lift-off process
DOI： 10.1109/lpt.2007.912491
发表时间： 2008-01-01
期刊： IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS
影响因子： 2.6
作者： [Ha, Jun-Seok, Lee, S. W., Yao, T.]
通讯作者： Yao, T.
The Realization of Vertical Light Emitting Diodes (V-LEDs) Using Chemical Lift-off (CLO) Processes
使用化学剥离 (CLO) 工艺实现垂直发光二极管 (V-LED)
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [S. W. Lee, et. al.]
通讯作者： et. al.
Analysis of the relation between leakage current and dislocations in GaN-based light-emittins devices
GaN基发光器件漏电流与位错关系分析
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Phys. stat. sol. (c) 4
影响因子： --
作者： [S. W. Lee, et. al.]
通讯作者： et. al.
Establishment of accuracy management system in IMRT QA/QC using organic phosphor
  • 批准号：
    24791336
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $1.58万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    HANADA Takashi
  • 依托单位：
    Keio University
Observation and control of heteroepitaxy on Si substrate by in situ X-ray diffraction
  • 批准号：
    21560007
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $3.24万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    HANADA Takashi
  • 依托单位：
    Tohoku University
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