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Synthesis of isotopically enriched film for boron nitride using double-pulsed laser deposition

Synthesis of isotopically enriched film for boron nitride using double-pulsed laser deposition
双脉冲激光沉积合成氮化硼同位素富集薄膜
批准号：
19560053
负责人：
OHBA Hironori
金额：
$2.5万
依托单位：
Japan Atomic Energy Agency
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560053/
关键词：
レーザーアブレーションプラズマダブルパルス窒化ホウ素同位体濃縮

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
パルスレーザー照射による窒化ホウ素薄膜の堆積において、複数のレーザー光を用いて照射タイミングを変えることによりホウ素および窒素のイオン生成量と価数を制御できることが見出された。この結果に基づいて、生成したイオンのエネルギーを選別し、これらイオンの軌道を制御して基板に蒸着させる成膜を試みた。イオン蒸着の結果、ターゲット材料からの化学組成ずれのほとんどない窒化ホウ素薄膜を作製できることが明らかになった。
英文摘要
パルスレーザー照射による窒化ホウ素薄膜の堆積において、複数のレーザー光を用いて照射タイミングを変えることによりホウ素および窒素のイオン生成量と価数を制御できることが見出された。この結果に基づいて、生成したイオンのエネルギーを選別し、これらイオンの軌道を制御して基板に蒸着させる成膜を試みた。イオン蒸着の結果、ターゲット材料からの化学組成ずれのほとんどない窒化ホウ素薄膜を作製できることが明らかになった。
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会议论文
Rotational-coherence molecular laser isotope separation
旋转相干分子激光同位素分离
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Applied Physics B 95
影响因子： --
作者： [Hiroshi Akagi,・, Hironori Ohba, Keiichi Yokoyama, Atsushi Yokoyama, Kazuhiro Egashira and Yo Fujimura]
通讯作者： Kazuhiro Egashira and Yo Fujimura
h-BNターゲットから生成したアブレーションプラズマの特性
h-BN靶材产生的烧蚀等离子体的特性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [大場弘則, 佐伯盛久, 江坂文孝, 山田洋一, 山本博之, 横山淳]
通讯作者： 横山淳
Thin film formation and characterization of plasma produced by pulsed laser ablation of h-BN target
脉冲激光烧蚀 h-BN 靶材薄膜形成及等离子体表征
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Proceedings of the Plasma Science Symposium 2009/ The 26th Symposium on plasma Processing
影响因子： --
作者： [Hironori Ohba, Morihisa Saeki, Fumitaka Esaka, Hiroyuki Yamamoto, Atsushi Yokoyama]
通讯作者： Atsushi Yokoyama
Practical Method for Producing a Large Amount of Isotopically Enriched Silicon by Infrared Multi-Photon Dissociation of Hexafluorodisilane
六氟乙硅烷红外多光子解离大量生产同位素富集硅的实用方法
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Japanese Journal of Applied Physics 47
影响因子： --
作者： [Hironori Ohba, Hiroshi Akagi, Keiichi Katsumata, Masashi Hashimoto, and Atsushi Yokoyama]
通讯作者： and Atsushi Yokoyama
共 7 条
    High sensitive detection of mixed elements in an aqueous solution by laser-induced breakdown spectroscopy with an ultra thin liquid film
    • 批准号：
      24560068
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      OHBA Hironori
    • 依托单位：
      Japan Atomic Energy Agency
    海外基金