Synthesis of isotopically enriched film for boron nitride using double-pulsed laser deposition

双脉冲激光沉积合成氮化硼同位素富集薄膜

• 批准号: 19560053
• 负责人: OHBA Hironori
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Japan Atomic Energy Agency
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560053/
• 关键词: レーザーアブレーション; プラズマ; ダブルパルス; 窒化ホウ素; 同位体濃縮

パルスレーザー照射による窒化ホウ素薄膜の堆積において、複数のレーザー光を用いて照射タイミングを変えることによりホウ素および窒素のイオン生成量と価数を制御できることが見出された。この結果に基づいて、生成したイオンのエネルギーを選別し、これらイオンの軌道を制御して基板に蒸着させる成膜を試みた。イオン蒸着の結果、ターゲット材料からの化学組成ずれのほとんどない窒化ホウ素薄膜を作製できることが明らかになった。

The amount of carbon dioxide produced by the reaction of carbon dioxide and carbon dioxide in the reaction mixture was determined. The results are as follows: 1) the substrate is heated, 2) the orbit is heated, 3) the film is formed, and 4) the substrate is heated. The results of evaporation, chemical composition of the material and the preparation of the thin film are as follows:

项目成果

Rotational-coherence molecular laser isotope separation

旋转相干分子激光同位素分离

• 发表时间: 2009
• 期刊: Applied Physics B 95
• 作者: Hiroshi Akagi,・;Hironori Ohba;Keiichi Yokoyama;Atsushi Yokoyama;Kazuhiro Egashira and Yo Fujimura
• 通讯作者: Kazuhiro Egashira and Yo Fujimura

h-BNターゲットから生成したアブレーションプラズマの特性

h-BN靶材产生的烧蚀等离子体的特性

• 发表时间: 2008
• 作者: 大場弘則;佐伯盛久;江坂文孝;山田洋一;山本博之;横山淳
• 通讯作者: 横山淳

Thin film formation and characterization of plasma produced by pulsed laser ablation of h-BN target

脉冲激光烧蚀 h-BN 靶材薄膜形成及等离子体表征

• 发表时间: 2009
• 期刊: Proceedings of the Plasma Science Symposium 2009/ The 26th Symposium on plasma Processing
• 作者: Hironori Ohba;Morihisa Saeki;Fumitaka Esaka;Hiroyuki Yamamoto;Atsushi Yokoyama
• 通讯作者: Atsushi Yokoyama

Practical Method for Producing a Large Amount of Isotopically Enriched Silicon by Infrared Multi-Photon Dissociation of Hexafluorodisilane

六氟乙硅烷红外多光子解离大量生产同位素富集硅的实用方法

• 发表时间: 2008
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics 47
• 作者: Hironori Ohba;Hiroshi Akagi;Keiichi Katsumata;Masashi Hashimoto;and Atsushi Yokoyama
• 通讯作者: and Atsushi Yokoyama

エキシマレーザー照射による h-BN からのアブレーションプラズマの特性

准分子激光辐照六方氮化硼烧蚀等离子体的特性

• DOI: 10.3131/jvsj2.52.369
• 发表时间: 2009
• 期刊: Journal of The Vacuum Society of Japan
• 作者: 弘則 大場;盛久 佐伯;文孝 江坂;洋一 山田;博之 山本;淳 横山
• 通讯作者: 淳 横山