Development of inexpensive and high-speed stress-microscope and application to stress evaluation in multilayer integrated circuit and avoidance of breaking in the circuit
Development of inexpensive and high-speed stress-microscope and application to stress evaluation in multilayer integrated circuit and avoidance of breaking in the circuit
廉价高速应力显微镜的开发及其在多层集成电路应力评估和避免电路断路中的应用
批准号：
19760076
负责人：
GOMI Kenji
金额：
$2.28万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
中文摘要
翻译
研究代表者は,半導体ウエハの品質評価装置として,新しい微小複屈折測定法を考案し測定装置をほぼ完成させた.品質評価装置の導入は,生産に必要な絶対条件ではないため,品質評価によって得られる利益が十分に大きいか,装置費用を回収出来る見通しが立たねば導入されづらい.しかしCO_2削減のためには品質評価装置を導入し歩留まりを向上させることが必要である.これをふまえ,本研究では導入及び維持費用が高価格になりにくい装置を提案した.
英文摘要
研究代表者は,半導体ウエハの品質評価装置として,新しい微小複屈折測定法を考案し測定装置をほぼ完成させた.品質評価装置の導入は,生産に必要な絶対条件ではないため,品質評価によって得られる利益が十分に大きいか,装置費用を回収出来る見通しが立たねば導入されづらい.しかしCO_2削減のためには品質評価装置を導入し歩留まりを向上させることが必要である.これをふまえ,本研究では導入及び維持費用が高価格になりにくい装置を提案した.
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応力顕微鏡の開発
应力显微镜的研制
应力显微镜的研制
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[鈴木智之, 五味健二, 一瀬謙輔, 新津靖]
通讯作者：
新津靖
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kenji Gomi, Kensuke Ichinose, Yasushi Niitsu]
通讯作者：
Yasushi Niitsu
簡便な複屈折測定装置の開発
一种简易双折射测量装置的研制
一种简易双折射测量装置的研制
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
材料試験技術 第52-4巻
影响因子：
--
作者：
[鈴木智之, 五味健二, 鈴木隼, 一瀬謙輔]
通讯作者：
一瀬謙輔
RESIDUAL STRESS ESTIMATION IN SIC WAFER USING IR POLARIS COPE
使用 IR POLARIS COPE 估算 SIC 晶圆中的残余应力
使用 IR POLARIS COPE 估算 SIC 晶圆中的残余应力
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kenji Gomi, Kensuke Ichinose, Yasushi Niitsu]
通讯作者：
Yasushi Niitsu
New simplified measuring method for distributed low-level birefringence(Proc. of 9th International Symposium on Laser Metrology on CD-ROM, edited by Chenggen Quan, Anand Asundi、SPIE Vol. 7155巻、pp.715510-1〜715510-8)
分布式低水平双折射简化测量新方法（第九届国际激光计量研讨会论文集CD-ROM，全承根、阿南德·阿松迪主编，SPIE Vol. 7155，pp.715510-1～715510-8）
分布式低水平双折射简化测量新方法（第九届国际激光计量研讨会论文集CD-ROM，全承根、阿南德·阿松迪主编，SPIE Vol. 7155，pp.715510-1～715510-8）
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kenji Gomi, Tomoyuki Suzuki, Yasushi Niitsu and Kensuke Ichinose]
通讯作者：
Yasushi Niitsu and Kensuke Ichinose
共 16 条
Effect of host-selective toxin to toxin-insensitive plant
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批准号：21780039
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.91万
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财政年份：2009
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负责人：GOMI Kenji
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依托单位：
海外基金