Development of Sensitive Eddy Current Microscopy Technique for Quantitative Evaluation of Electrical Conductivity of Thin Films

开发用于定量评估薄膜导电性的灵敏涡流显微技术

• 批准号: 19760057
• 负责人: TOHMYOH Hironori
• 金额: $ 2.4万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760057/
• 关键词: 機械材料; 材料力学; 走査型プローブ顕微鏡; 渦電流; ナノ薄膜; 導電率; 機械材料・材料力学; 非接触計測; 磁気プローブ; 位相

磁気プローブの高速振動によりナノ薄膜内の局所的な領域に高密度の渦電流を形成し、これに起因したプローブの振動位相の変化(渦電流損失)を観察することで、ナノ薄膜の導電率を高感度、かつ定量的に評価することのできる渦電流マイクロスコピー法を開発した。観察される磁気プローブの振動位相の遅れ量が薄膜の導電率に比例することを実験的、および理論的に示した。さらに、直径800nmなるPtナノワイヤに高密度の渦電流を誘導すると共に、これによる磁気プローブの位相変化を検知することに成功した。

The high speed vibration of the magnetic field causes the formation of high density eddy currents in the local area of the thin film, and the detection of the phase change of the magnetic field vibration (eddy current loss) causes the high sensitivity and quantitative evaluation of the conductivity of the thin film. The vibration phase of the magnetic field is observed to be proportional to the conductivity of the film. In addition, the diameter of Pt is 800nm. The high density eddy current is induced by Pt, and the phase change of Pt is detected successfully.

项目成果

Non-contact evaluation of electrical conductivity of thin metallic films by eddy current microscopy

利用涡流显微镜非接触式评估金属薄膜的电导率

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proceedings of the 2008 M&M International Symposium for Young Researchers
• 作者: H. Tohmyoh;M. Muraoka;K. Sakomizu;H. Takeda;M. Saka
• 通讯作者: M. Saka

A governing parameter for the melting phenomenon at nanocontacts by Joule heating and its application to joining together two thin metallic wires

• DOI: 10.1063/1.3058643
• 发表时间: 2009-01-01
• 期刊: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
• 影响因子: 3.2
• 作者: Tohmyoh, Hironori

Measurement of potential drop distribution by scanning the closely coupled probes sensor for sensitive NDE of shallow surface cracks

通过扫描紧密耦合探针传感器测量电位降分布，以实现浅表面裂纹的灵敏 NDE

• 发表时间: 2007
• 期刊: Materials Transactions 48
• 作者: H. Tohmyoh;T. Suzuki;S. R. Ahmed;M. Saka
• 通讯作者: M. Saka

Thermoelastic damping of the axisymmetric vibration of circular plate resonators

• DOI: 10.1016/j.jsv.2008.06.017
• 发表时间: 2009-01
• 期刊: Journal of Sound and Vibration
• 影响因子: 4.7
• 作者: Yuxin Sun;H. Tohmyoh

金属マイクロコイルの作製と微小磁場発生

金属微线圈的制作和微磁场的产生

• 发表时间: 2008
• 作者: 佐野定男;岩井学;植松哲太郎;鈴木清;武田大尚,燈明泰成,坂真澄
• 通讯作者: 武田大尚,燈明泰成,坂真澄