Development and structural analyses of hard and wear-resistant thin films for dry-cutting

干切削用硬质耐磨薄膜的研制及结构分析

• 批准号: 19760509
• 负责人: HASEGAWA Hiroyuki
• 金额: $ 2.23万
• 依托单位: Okayama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760509/
• 关键词: コーティング; 非平衡プロセス; X線回折法; 原子間力顕微鏡; 微細構造; 耐酸化性; 電子顕微鏡; 硬質薄膜; 耐熱性

アルミニウム含有量の増加に伴い,(Cr,Al)Nは立方晶から六方晶へ変態し,その近傍において,膜の最大硬度が得られる.本研究では,相変態近傍の組成を有する(Cr,Al)Nに希土類元素および珪素を添加した硬質膜をカソディックアークイオンプレーティング法および高周波マグネトロンスパッタリング法により作製し,耐熱性,耐酸化性,微細構造を中心とした評価を実施した.

With the increase of Cr, Al content,(Cr,Al)N cubic crystal phase, hexagonal crystal phase, and near the middle, the maximum hardness of the film was obtained. In this study, the composition of phase change near the (Cr,Al)N rare earth elements and the addition of hard film, heat resistance, acid resistance, fine structure of the center and the implementation of evaluation.

项目成果

Micro-hardness, microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si)N films deposited by cathodic arc method

• DOI: 10.1016/j.vacuum.2007.07.048
• 发表时间: 2008-01
• 期刊: Vacuum
• 影响因子: 4
• 作者: H. Ezura;K. Ichijo;H. Hasegawa;K. Yamamoto;A. Hotta;Tetsuya Suzuki

セラミック硬質薄膜の微小硬度および微細構造変化

陶瓷硬薄膜的显微硬度和显微结构变化

• 发表时间: 2007
• 期刊: 高温学会誌 33
• 作者: Hiroyuki Hasegawa;Kazuhito Ohashi;Shinya Tsukamoto;Takashi Sato;Tetsuya Suzuki;Koji Ichijo;長谷川裕行
• 通讯作者: 長谷川裕行

Characterization of quaternary (Cr,Al) N based films synthesized by cathodic arc method

阴极电弧法合成四元(Cr,Al)N基薄膜的表征

• 发表时间: 2007
• 期刊: Surface & Coatings Technology Vol.202
• 作者: Hiroyuki Hasegawa;Kazuhito Ohashi;Shinya Tsukamoto;Takashi Sato;Tetsuya Suzuki
• 通讯作者: Tetsuya Suzuki

Microstructures of (Ti,Cr,Al,Si)N films synthesized by cathodic arc method

• DOI: 10.1016/j.surfcoat.2006.07.016
• 发表时间: 2007-02
• 期刊: Surface & Coatings Technology
• 影响因子: 5.4
• 作者: K. Ichijo;H. Hasegawa;Tetsuya Suzuki

Characterization of quaternary quatenary Cr based nitride films synthesized by cathodic arc method

阴极电弧法合成四元Cr基氮化物薄膜的表征

• 发表时间: 2007
• 作者: Hiroyuki Hasegawa;Kazuhito Ohashi;Shinya Tsukamoto;Takashi Sato;Tetsuya Suzuki;Koji Ichijo;長谷川裕行;Hiroyuki Hasegawa
• 通讯作者: Hiroyuki Hasegawa