Development and Application of a thin film growth method called nano-channel hetero-epitaxy

纳米通道异质外延薄膜生长方法的开发与应用

• 批准号: 20360015
• 负责人: ICHIKAWA Masakazu
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360015/
• 关键词: ナノ材料; 薄膜; 量子ドット; シリコン; 半導体物性; 表面・界面物性; 光物性; 化合物半導体; ゲルマニウム

In order to integrate Si optical devices with Si electrical devices, we have developed a hetero-epitaxial growth method called nano-channel hetero-epitaxy in which ultrahigh density nanodots formed on ultrathin SiO2-covered Si substrates are used as seed crystals to grow hetero-thin films with good crystalline qualities on Si substrates. We have grown Ge, GeSn, GaSb and AlGaSb films with good crystalline qualities on Si substrates and investigated their crystalline and light-emitting properties.

为了将SI光学设备与SI电气设备整合在一起，我们开发了一种称为纳米通道异质杂质的异性持续生长方法，在该方法中，在超大型Sio2覆盖的SiO2覆盖的Si底层上形成的超高密度纳米植物被用作种子晶体，用作杂质 - 硫蛋白薄膜，具有良好的结晶质量。我们已经在SI底物上具有良好的结晶品质，已成长GE，GESN，GASB和Algasb膜，并研究了它们的结晶和发光特性。

项目成果

Self-organized formation and self-repair of a two-dimensional nanoarray of Ge quantum dots epitaxially grown on ultrathin SiO_2-covered Si substrates

超薄SiO_2覆盖Si衬底上外延生长Ge量子点二维纳米阵列的自组织形成与自修复

• 发表时间: 2010
• 期刊: Nanotechnology
• 影响因子: 3.5
• 作者: Y. Nakamura;A. Murayama;R. Watanabe;T. Iyoda and M. Ichikawa
• 通讯作者: T. Iyoda and M. Ichikawa

STM-CL分光法の空間分解能決定要因の研究

STM-CL 光谱空间分辨率决定因素的研究

• 发表时间: 2009
• 作者: 渡辺健太郎;中村芳明;窪谷茂幸;片山竜二;尾鍋研太郎;市川昌和
• 通讯作者: 市川昌和

金属ナノ構造中の局在表面プラズモンに関する量子論II

金属纳米结构中局域表面等离子体激元的量子理论II

• 发表时间: 2010
• 作者: P.Sommani;H.Tsuji;H.Sato;Y.Gotoh;J.Ishikawa;G.H.Takaoka;Satoru Imaizumi;笹岡健二;H. Ikuta;市川昌和
• 通讯作者: 市川昌和

Formation and optical properties of GaSb quantum dots epitaxially grown on Si substrates using an ultrathin SiO2 film technique

• DOI: 10.1063/1.3055211
• 发表时间: 2009-01
• 期刊: Journal of Applied Physics
• 影响因子: 3.2
• 作者: Y. Nakamura;T. Sugimoto;M. Ichikawa

Development of Novel System Combining STM-cathodoluminescence and STM-electroluminescence Nanospectroscopies

结合STM阴极发光和STM电致发光纳米光谱的新型系统的开发

• 发表时间: 2010
• 作者: K.Watanabe;Y.Nakamura;S.Kuboya;R.Katayama;K.Onabe;M.Ichikawa
• 通讯作者: M.Ichikawa