Study of a novel field emitter with a built-in electrostatic lens.

具有内置静电透镜的新型场发射器的研究。

• 批准号: 20360156
• 负责人: MIMURA Hidenori
• 金额: $ 12.15万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360156/
• 关键词: 電界放出電子源; 集束; ダブルゲート電子源; 静電レンズ; 電子ビーム; 電界放出微小電子源; 電子ビーム集束; ナイフエッジ法; 多段型電界放出微小電子源; アインツェルレンズ; 焦点形成; 電子ビーム露光法; 多段方電界放出微小電子源; 電界放射微小電子源; ダブルゲート微小電子源; エッチバック法

We have proposed a novel field emitter with a built-in electrostatic lens. This field emitter is fabricated by the etch-back method. The focusing electrode is located around the extraction gate electrode and its height is easily controlled. We have fabricated the field emitter whose focusing electrode is located below the extraction gate electrode. Such the field emitter has an excellent focusing characteristic without significant decrease of the emission current, even under the strong focusing condition. The electron beam emitted from the developed field emitter shows good symmetry.

我们提出了一种内置静电透镜的新型场发射体。这种场发射极是用回刻法制作的。聚焦电极位于引出栅电极周围，其高度易于控制。我们制作了聚焦电极位于引出栅电极下方的场发射极。这种场发射极即使在强聚焦条件下也具有良好的聚焦特性，发射电流不会显著降低。所研制的场发射体发射的电子束具有良好的对称性。

项目成果

Field emitter array with a built-in multi-electrode lens

具有内置多电极透镜的场发射器阵列

• 发表时间: 2009
• 作者: H. Ueba;B.N.J. Persson;長尾昌善
• 通讯作者: 長尾昌善

静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製

与静电透镜集成的场发射器的制作

• 发表时间: 2010
• 作者: 西尾陽太郎;石川弘一郎;黒田眞司;三留正則;坂東義雄;戸嶋直樹;長尾昌善
• 通讯作者: 長尾昌善

ナノビジョンサイエンス-画像技術の新展開-

Nanovision Science - 成像技术的新进展 -

• 发表时间: 2009
• 作者: 三村秀典;原和彦;川人祥二;青木徹;廣本宣久
• 通讯作者: 廣本宣久

高収束電子ビームを目指した静電レンズ一体型フィールドエミッタの製作

针对高聚焦电子束的集成静电透镜场发射器的制作

• 发表时间: 2010
• 作者: 長尾昌善;西孝;神田信子;吉田知也;根尾陽一郎;三村秀典;清水貴思;金丸正剛
• 通讯作者: 金丸正剛

A Multi-Gated FEA for Low Energy Acceleration Micro-Column Microscopes

用于低能量加速微柱显微镜的多门有限元分析

• 发表时间: 2010
• 作者: 小池昭史;田上智也;高木康男;藤野高弘;青木徹;根尾陽一郎;三村秀典;長尾昌善;吉田知也;村田英一;酒井健太郎
• 通讯作者: 酒井健太郎