Development of a novel micro-column using the multi-gated field emitter for SEM application

使用多门场发射器开发用于 SEM 应用的新型微柱

基本信息

  • 批准号:
    23246065
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 30.87万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 财政年份:
    2011
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2011-04-01 至 2014-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

We have developed a novel micro-column using the multi-gated field emitter for scanning electron microscope (SEM) application. We designed and fabricated the micro-column, and measured the electron beam characteristics of the micro-column. We have successfully developed the novel micro-column as we designed. However, for the SEM application, the beam size emitted from the micro-column is still not sufficient. Reducing the initial beam angle from the micro-column is necessary. We considered to incorporate a welt electrode with the micro-column, and investigated the effect of the welt electrode. As a result, we have concluded that we can realize a multi-gated field emitter micro-column for SEM application by incorporating a welt electrode with the micro-column.
我们开发了一种新颖的微柱使用多门控场发射器的扫描电子显微镜(SEM)的应用。设计并制作了微柱,测量了微柱的电子束特性。我们已经成功地开发了我们所设计的新型微柱。然而,对于SEM应用,从微柱发射的光束尺寸仍然不够。减小来自微柱的初始光束角是必要的。我们考虑在微柱中加入贴边电极,并研究了贴边电极的作用。因此,我们可以得出结论,我们可以实现一个多门控场发射微柱的SEM应用,通过将一个贴边电极与微柱。

项目成果

期刊论文数量(25)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Novel Micro Column Using Multi-gated Field Emitters
使用多门控场发射器的新型微型柱
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H.Mimura;Y.Neo;T.Aoki;T.Yoshida and M.Nagao
  • 通讯作者:
    T.Yoshida and M.Nagao
マイクロサイズ電子筐筒の開発
微型电子外壳的开发
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    相良尚人;林攀梅;高木宏幸;中村雄一;井上光輝;三村秀典
  • 通讯作者:
    三村秀典
Field Emitter Technology for Nanovision Science
纳米视觉科学场发射器技术
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Takagi;M. Yokoyama;S.-H. Kim;R. Suzuki;R. Zhang;N. Taoka;and M. Takenaka;M.Inoue;H.Mimura
  • 通讯作者:
    H.Mimura
Electron Emission Characteristics of Multi-gated Field Emitters
多栅场发射器的电子发射特性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H.Mimura;Y.Neo;T.Aoki;T.Yoshida and M.Nagao
  • 通讯作者:
    T.Yoshida and M.Nagao
Si Multi-gated Field Emitters with a Built-in Electrostatic Lens
具有内置静电透镜的硅多栅极场发射器
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Y.Yamada;et al;H.Mimura
  • 通讯作者:
    H.Mimura
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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{{ item.translation_title }}
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    {{ item.publish_year }}
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  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
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    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

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