Development of a novel micro-column using the multi-gated field emitter for SEM application
使用多门场发射器开发用于 SEM 应用的新型微柱
基本信息
- 批准号:23246065
- 负责人:
- 金额:$ 30.87万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份:2011
- 资助国家:日本
- 起止时间:2011-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
We have developed a novel micro-column using the multi-gated field emitter for scanning electron microscope (SEM) application. We designed and fabricated the micro-column, and measured the electron beam characteristics of the micro-column. We have successfully developed the novel micro-column as we designed. However, for the SEM application, the beam size emitted from the micro-column is still not sufficient. Reducing the initial beam angle from the micro-column is necessary. We considered to incorporate a welt electrode with the micro-column, and investigated the effect of the welt electrode. As a result, we have concluded that we can realize a multi-gated field emitter micro-column for SEM application by incorporating a welt electrode with the micro-column.
我们开发了一种新颖的微柱使用多门控场发射器的扫描电子显微镜(SEM)的应用。设计并制作了微柱,测量了微柱的电子束特性。我们已经成功地开发了我们所设计的新型微柱。然而,对于SEM应用,从微柱发射的光束尺寸仍然不够。减小来自微柱的初始光束角是必要的。我们考虑在微柱中加入贴边电极,并研究了贴边电极的作用。因此,我们可以得出结论,我们可以实现一个多门控场发射微柱的SEM应用,通过将一个贴边电极与微柱。
项目成果
期刊论文数量(25)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Novel Micro Column Using Multi-gated Field Emitters
使用多门控场发射器的新型微型柱
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:H.Mimura;Y.Neo;T.Aoki;T.Yoshida and M.Nagao
- 通讯作者:T.Yoshida and M.Nagao
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- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:S. Takagi;M. Yokoyama;S.-H. Kim;R. Suzuki;R. Zhang;N. Taoka;and M. Takenaka;M.Inoue;H.Mimura
- 通讯作者:H.Mimura
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- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:H.Mimura;Y.Neo;T.Aoki;T.Yoshida and M.Nagao
- 通讯作者:T.Yoshida and M.Nagao
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- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Y.Yamada;et al;H.Mimura
- 通讯作者:H.Mimura
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
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