Herstellung und Untersuchung von elektrisch betriebenen AlGaN/GaN/GaInN-DFB-Laserstrukturen

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Die Realisierung von Fabry-Perot-Lasern im Materialsystem AlGaN/GaN/GaInN ist infolge der schlechten Spaltbarkeit der gängigen Substrate erschwert. Laser mit verteilter Rückkopplung bieten hier einen großen technologischen Vorteil, da die Lichtrückkopplung durch das DFB-Gitter erfolgt. Im auslaufenden Forschungsvorhaben wurden bereits optisch gepumpte DFB-Laser mit Gittern 2. Ordnung realisiert und charakterisiert. Basierend auf den erarbeiteten Ergebnissen sollen nun elektrisch gepumpte DFB-Laser 1. und 2. Ordnung hergestellt und untersucht werden. Dazu muß das Design der Vertikalstruktur entsprechend den experimentellen Ergebnissen des laufenden Forschungsvorhabens und mit Hilfe von Modellrechnungen auf elektrisch betriebene Laser weiterentwickelt werden. Der Herstellungsprozeß muß auf Gitter 1. Ordnung mit Gitterperioden um 80 nm erweitert werden. Das Laserdesign und die Prozeßführung sollen dabei durch optische und elektrische Messungen wie Lumineszenzausbeute, Kennlinienmessungen, Bestimmung der Serienwiderstände und Messung der Quantenausbeute kontrolliert werden.