Herstellung und Untersuchung von elektrisch betriebenen AlGaN/GaN/GaInN-DFB-Laserstrukturen

AlGaN/GaN/GaInN材料系统中的AlGaN/GaN/GaInN是由Schlechten Spaltbarkeit der gängien衬底组成的。激光椎体切割机Rück kopplung bieten hier einen groçen Technology isen Vorteil，da die lichtrück kopplung dch das DFB-Gitter erfolgt.我是Forschungsvorhaben Wurden失去了它的机会Gepumpte DFB-激光麻省理工学院2。秩序现实和特征。在此基础上，提出了一种新的激光技术，即1.和2.这两种技术的应用。Dazuüdas Design der Vertikalstrukut entsprechend den neatentellen ergebnissen des lagebnissen des laschungsvorhabens and MIT Hilfe von modellrechnungen auf elektrisch Betriebene激光Weiterentwickelt den.在此基础上，设计了一种新的80 nm超细管。作为激光设计和模具设计和生产过程中的最佳选择和最佳选择，KennlinienMessungen，KennlinienMessungen，Bstimmung der SerienBroadderstände and Messung der Quantonosbeute kontrolliert是最好的选择。

Die Realisierung von Fabry-Perot-Lasern im Materialsystem AlGaN/GaN/GaInN ist infolge der schlechten Spaltbarkeit der gängigen Substrate erschwert. Laser mit verteilter Rückkopplung bieten hier einen großen technologischen Vorteil, da die Lichtrückkopplung durch das DFB-Gitter erfolgt. Im auslaufenden Forschungsvorhaben wurden bereits optisch gepumpte DFB-Laser mit Gittern 2. Ordnung realisiert und charakterisiert. Basierend auf den erarbeiteten Ergebnissen sollen nun elektrisch gepumpte DFB-Laser 1. und 2. Ordnung hergestellt und untersucht werden. Dazu muß das Design der Vertikalstruktur entsprechend den experimentellen Ergebnissen des laufenden Forschungsvorhabens und mit Hilfe von Modellrechnungen auf elektrisch betriebene Laser weiterentwickelt werden. Der Herstellungsprozeß muß auf Gitter 1. Ordnung mit Gitterperioden um 80 nm erweitert werden. Das Laserdesign und die Prozeßführung sollen dabei durch optische und elektrische Messungen wie Lumineszenzausbeute, Kennlinienmessungen, Bestimmung der Serienwiderstände und Messung der Quantenausbeute kontrolliert werden.