Simultaneous generation of both anodic and cathodic ions from magnetically controlled vacuum arc discharge and its application to an ion source

磁控真空电弧放电同时产生阳极和阴极离子及其在离子源中的应用

• 批准号: 20560259
• 负责人: YANAGIDAIRA Takeshi
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Ibaraki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560259/
• 关键词: 真空アーク放電; イオン源; アーク放電; 真空アーク; 小電流アーク; アークプラズマ; パルス電流変調; 半導体パルス電源; 金属イオン; 陽極点; アノードスポット; 薄膜; ドロップレット

Vacuum arcs become unstable with decreasing arc current and are hard to sustain for long periods. In this study, magnets are arranged inside and back side of both electrodes. Under strong magnetic field, anode spot is generated even at low current and is effective for sustaining low current arcs.

真空电弧随着电弧电流的减小而变得不稳定，难以长时间维持。在本研究中，磁铁被设置在两个电极的内侧和背面。在强磁场作用下，即使在小电流下也能产生阳极斑点，对维持小电流电弧有效。