Study on nitride-based semiconductor photonic devices with nano-imprint technique

纳米压印氮化物基半导体光子器件研究

• 批准号: 20560302
• 负责人: NAOI Yoshiki
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: The University of Tokushima
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560302/
• 关键词: 薄膜・量子構造; ナノインプリント; 発光ダイオード; 窒化物

We have studied on the development and the improvement of device performance of nitride-based semiconductor photonic devices by using nano-imprint lithography technique. We have experimentally confirmed the diffraction effects for the sample with surface periodic structure on GaN surface fabricated by nano-imprint lithography technique. We fabricated the photodetector with this structure, and investigated the fundamental characteristics for the device. We also studied for the LED devices with the periodic structure on the surface and the interface between the GaN and the substrate, and investigated the effects on output light power and the directivility.

我们研究了利用纳米压印光刻技术开发氮化物基半导体光子器件并提高器件性能。我们通过实验证实了采用纳米压印光刻技术在GaN表面制作的具有表面周期结构的样品的衍射效应。我们制造了具有这种结构的光电探测器，并研究了该设备的基本特性。我们还研究了表面具有周期性结构的LED器件以及GaN与衬底之间的界面，并研究了其对输出光功率和方向性的影响。

项目成果

表面ナノ周期構造を有するInGaN-LEDからの輻射光空間分布特性

表面纳米周期结构InGaN-LED辐射光的空间分布特性

• 发表时间: 2009
• 作者: 直井美貴;他
• 通讯作者: 他

GaN-based light emitting diodes with periodic nano-structures on the surface fabricated by nanoimprint lithography technique

采用纳米压印光刻技术制备表面具有周期性纳米结构的GaN基发光二极管

• 发表时间: 2010
• 期刊: physica status solidi (c) Vol.7, No.7-8
• 作者: Yoshiki Naoi;Masakazu Matsumot;Tianya Tan;Mitsuaki Tohno;Shiro Sakai Jing Zhang;Atsuyuki Fukano;Satoru Tanaka
• 通讯作者: Satoru Tanaka

ナノインプリント技術によるサファイア基板上へのナノ構造の形成

使用纳米压印技术在蓝宝石衬底上形成纳米结构

• 发表时间: 2008
• 作者: 遠野充明;直井美貴;酒井士郎;和地順蔵
• 通讯作者: 和地順蔵

Front and Back Side Illumination of a Nano-Structured AlGaInN Photodetector

纳米结构 AlGaInN 光电探测器的正面和背面照明

• 发表时间: 2010
• 作者: Jing Zhang,;Takumi Taoka;Yoshiki Naoi;Shiro Sakai;Atsuyuki Fukano;Satoru Tanaka
• 通讯作者: Satoru Tanaka

GaN系表面ナノ構造光検出器

GaN基表面纳米结构光电探测器

• 发表时间: 2009
• 作者: 張晶;直井美貴;酒井士郎;深野敦之;田中覚
• 通讯作者: 田中覚