Development of crystallinity evaluation technique of poly-silicon film aiming at flat panel display on the basis of an alternating current surface photovoltage method

基于交流表面光电压法的平板显示多晶硅薄膜结晶度评价技术开发

• 批准号: 20560308
• 负责人: SHIMIZU Hirofumi
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Nihon University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560308/
• 关键词: 作成; 評価技術; 表面光電圧; 多結晶シリコン薄膜; 結晶性評価; フラットパネルディスプレイ; 金属誘起電荷; 酸化膜成長; 金属不純物; 表面ポテンシャル; 単結晶シリコン

A novel instrument based on an alternating current surface photovoltage (AC SPV) was successfully developed to evaluate a crystallinity of Si poly-crystal thin film nondestructively. Simultaneously, irregular AC SPV characteristics were clarified for thermally oxidized Au-, Fe-, and Cr-contaminated n-type Si single crystal surfaces, respectively. The effects of these metal impurities on thermal oxide growth of Si surfaces were also investigated.

研制了一种基于交流表面光伏(AC SPV)的硅多晶薄膜结晶度无损检测仪器。同时，阐明了热氧化Au、Fe和Cr污染的n型硅单晶表面的不规则交流SPV特征。研究了这些金属杂质对硅表面热氧生长的影响。

项目成果

熱酸化したAu故意汚染n型Si(100)表面におけるAuの挙動(その2)

Au 在热氧化 Au 有意污染的 n 型 Si(100) 表面上的行为（第 2 部分）

• 发表时间: 2008
• 作者: T. Matsuda;S. Ishimaru;S. Nohara;H. Iwata;K. Komoku;T. Morishita;T. Ohzone;嶋田定剛(清水博文)
• 通讯作者: 嶋田定剛(清水博文)

非接触表面光電圧プローブを用いた多結晶シリコン薄膜の結晶性評価

使用非接触式表面光电压探针评估多晶硅薄膜的结晶度

• 发表时间: 2010
• 作者: 角田直輝;海津利行;高橋正光;山口浩一;池田正則(清水博文)
• 通讯作者: 池田正則(清水博文)

Si(1OO)表面における熱酸化膜成長に及ぼすP及びSbの影響

P和Sb对Si(1OO)表面热氧化膜生长的影响

• 发表时间: 2008
• 作者: K.Kajikawa;K.Tomachi;K.Tanaka;K.Funaki;T.Kamiya;M.Okada;H.Kumakura;牟田壮志郎
• 通讯作者: 牟田壮志郎

Characteristics of Sol–Gel-Derived and Crystallized HfO2 Thin Films Dependent on Sol Solution

• DOI: 10.1143/jjap.49.121502
• 发表时间: 2010-12
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: H. Shimizu;Dai Nemoto;M. Ikeda;T. Nishide

Negative Oxide Charge in Thermally Oxidized Cr-Contaminated n-Type Silicon Wafers

热氧化铬污染 n 型硅片中的负氧化物电荷

• 发表时间: 2010
• 期刊: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49
• 作者: H.Shimizu;S.Shimada;M.Ikeda
• 通讯作者: M.Ikeda