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Non-volatile resonant frequency control of vibratory MEMS structures using ferroelectric polarization

Non-volatile resonant frequency control of vibratory MEMS structures using ferroelectric polarization
使用铁电极化对振动 MEMS 结构进行非易失性谐振频率控制
批准号：
20560299
负责人：
YAMASHITA Kaoru
金额：
$3.0万
依托单位：
Kyoto Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560299/
关键词：
圧電体強誘電体分極MEMS共振応力

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英文摘要
Frequency control technique of resonant MEMS (micro-electro-mechanical systems) structures using piezoelectric materials has been proposed. The role of a static deflection of the piezoelectric diaphragm structure has been clarified in the relationship between the piezoelectrically generated stress and the resonant behavior. The results have led a novel ultrasonic measurement technique with much higher accuracy than a conventional one.
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会议论文
Ghost suppressive ultrasonic measurement with a sparse phased array by using multiple frequencies
使用多频率稀疏相控阵进行重影抑制超声测量
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Yamaguchi, N.Kakuda, S.Sekiguchi, Y.Kanemaru, 山下馨]
通讯作者： 山下馨
Piezoelectric tunable resonant microsensors for multiple-frequency ultrasonic measurement
用于多频超声测量的压电可调谐谐振微传感器
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [瀬尾崇志, 平野和浩, 山口浩一, 山下馨]
通讯作者： 山下馨
Ghost suppression in ultrasonic measurement with a sparse phased array by using frequency tuning of piezoelectric microsensors
利用压电微传感器频率调谐的稀疏相控阵超声波测量中的重影抑制
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [瀬尾崇志, 平野和浩, 山口浩一, 山下馨]
通讯作者： 山下馨
圧電ダイアプラム型超音波センサの共振周波数制御
压电隔膜式超声波传感器谐振频率控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [眞田悠司, 清水博文, 池田正則, 冨山賢司]
通讯作者： 冨山賢司
共 15 条
    Vector tactile sensing with single MEMS sensor using resonant frequencyshift
    • 批准号：
      23656239
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YAMASHITA Kaoru
    • 依托单位：
      Kyoto Institute of Technology
    Resonant behavior control through ferroelectric polarization and its applications to vibratory MEMS devices with improved functionality
    • 批准号：
      23360136
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.56万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YAMASHITA Kaoru
    • 依托单位：
      Kyoto Institute of Technology
    海外基金