Non-volatile resonant frequency control of vibratory MEMS structures using ferroelectric polarization

使用铁电极化对振动 MEMS 结构进行非易失性谐振频率控制

• 批准号: 20560299
• 负责人: YAMASHITA Kaoru
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Kyoto Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560299/
• 关键词: 圧電体; 強誘電体; 分極; MEMS; 共振; 応力

Frequency control technique of resonant MEMS (micro-electro-mechanical systems) structures using piezoelectric materials has been proposed. The role of a static deflection of the piezoelectric diaphragm structure has been clarified in the relationship between the piezoelectrically generated stress and the resonant behavior. The results have led a novel ultrasonic measurement technique with much higher accuracy than a conventional one.

提出了一种基于压电材料的谐振式MEMS(微机电系统)结构频率控制技术。在压电应力和共振行为之间的关系中，已经阐明了压电膜结构的静态挠度的作用。这一结果导致了一种新的超声测量技术，比传统的测量技术具有更高的精度。

项目成果

Ghost suppressive ultrasonic measurement with a sparse phased array by using multiple frequencies

使用多频率稀疏相控阵进行重影抑制超声测量

• 发表时间: 2010
• 作者: K.Yamaguchi;N.Kakuda;S.Sekiguchi;Y.Kanemaru;山下馨
• 通讯作者: 山下馨

Piezoelectric tunable resonant microsensors for multiple-frequency ultrasonic measurement

用于多频超声测量的压电可调谐谐振微传感器

• 发表时间: 2010
• 作者: 瀬尾崇志;平野和浩;山口浩一;山下馨
• 通讯作者: 山下馨

Ghost suppression in ultrasonic measurement with a sparse phased array by using frequency tuning of piezoelectric microsensors

利用压电微传感器频率调谐的稀疏相控阵超声波测量中的重影抑制

• 发表时间: 2010
• 作者: 瀬尾崇志;平野和浩;山口浩一;山下馨
• 通讯作者: 山下馨

圧電ダイアプラム型超音波センサの共振周波数制御

压电隔膜式超声波传感器谐振频率控制

• 发表时间: 2009
• 作者: 眞田悠司;清水博文;池田正則;冨山賢司
• 通讯作者: 冨山賢司

圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサのバイアス電圧印加による共振周波数変化

压电隔膜式超声波微传感器因施加偏置电压而引起的谐振频率变化

• 发表时间: 2009
• 作者: 山下馨;良川慧太;冨山賢司;野田実
• 通讯作者: 野田実