高密度分散型光動力発生機構の開発

本研究ではMEMS分野で現在広く実施されている光放射圧を用いた研究を,実用可能なものにするための新しい取り組みを提案している.従来の高NA対物レンズを用いた作業領域に比べて複雑かつ三次元構造の大きな光学系を作業領域上方に設置する必要のない,2次元平面内に収めることのできる光の反射現象を用いた高密度分散型動力発生機構の開発を目指している.平成22年度においては,研究実施計画にもとづき,光導波路をシリコンウエハ上に作製し,同時に作製したローターフレーム内で,表面を白金コートしたシリカ球(直径4μm)のレーザー照射による回転特性を解析した.この結果に基づいて,入力パワーと回転特性を明らかとし,ローターの回転に伴う発生トルクを検討した.上記回転力検出実験とともに,光導波路をシリコン基板上にSiO_2によって張り巡らせる技術の開発を同時に進めた.前年度より懸案であった軸付ローターについては,高分子材料であるパリレンによる製作技術を確立し,軸に発生する摩擦の軽減を図る構造を検討した.この結果として,前年度からの取り組みであった単体としての「光駆動によるモーター」製作を光導波路よりレーザー光を照射することのできる状況を確立した.平成22年度に掲げた研究計画ほぼ達成することができた.

本研究ではMEMS分野で現在広く実施されている光放射圧を用いた研究を,実用可能なものにするための新しい取り組みを提案している.従来の高NA対物レンズを用いた作業領域に比べて複雑かつ三次元構造の大きな光学系を作業領域上方に設置する必要のない,2次元平面内に収めることのできる光の反射現象を用いた高密度分散型動力発生機構の開発を目指している.平成22年度においては,研究実施計画にもとづき,光導波路をシリコンウエハ上に作製し,同時に作製したローターフレーム内で,表面を白金コートしたシリカ球(直径4μm)のレーザー照射による回転特性を解析した.この結果に基づいて,入力パワーと回転特性を明らかとし,ローターの回転に伴う発生トルクを検討した.上記回転力検出実験とともに,光導波路をシリコン基板上にSiO_2によって張り巡らせる技術の開発を同時に進めた.前年度より懸案であった軸付ローターについては,高分子材料であるパリレンによる製作技術を確立し,軸に発生する摩擦の軽減を図る構造を検討した.この結果として,前年度からの取り組みであった単体としての「光駆動によるモーター」製作を光導波路よりレーザー光を照射することのできる状況を確立した.平成22年度に掲げた研究計画ほぼ達成することができた.