Aperiodic design and development of soft X-ray broadband multilayermirror optics

软X射线宽带多层镜光学器件的非周期设计与开发

• 批准号: 20760017
• 负责人: TSURU Toshihide
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760017/
• 关键词: 超薄膜; 多層膜; 軟X線; 広帯域; 光学素子; ミラー

In the soft X-ray wavelength region, design method by using optimization algorithms and fabrication method were developed to broadening the reflection passband of multilayer mirror optics. Fabrication system which can control aperiodic period thickness and thickness distribution was realized. Aperiodic designs of broadband multilayer polarizer for the EUV and mutliayer mirror for the carbon window were determined.

在软X射线波段，提出了利用优化算法和制作方法加宽多层膜反射镜光学元件反射通带的设计方法。实现了可控制非周期厚度和厚度分布的加工系统。确定了用于极紫外光的宽带多层偏振器和用于碳窗的多层膜反射镜的非周期设计。

项目成果

膜厚分布制御成膜法を応用した新機能x線ミラーの開発

采用膜厚分布控制成膜方法开发新型功能性X射线镜

• 发表时间: 2009
• 作者: 羽多野忠;原田哲男;豊田光紀;津留俊英;山本正樹
• 通讯作者: 山本正樹

Advanced nanometer-size structures, Design and in-situ fabrication control of X-EUV mirrors

先进的纳米尺寸结构、X-EUV 反射镜的设计和原位制造控制

• 发表时间: 2008
• 期刊: Acta Physica Slovaca 57(6)
• 作者: Eva Majkova;Matej Jergel;Masaki Yamamoto;Toshihide Tsuru;Stefan Luby;Peter Siffalovi
• 通讯作者: Peter Siffalovi

軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発

软X射线显微镜用精密多层镜的开发

• 发表时间: 2010
• 期刊: 放射光 (印刷中)
• 作者: 津留俊英;羽多野忠;原田哲男;山本正樹
• 通讯作者: 山本正樹

軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発, 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発

软X射线显微镜用精密多层反射镜的开发 软X射线显微镜用精密多层反射镜的开发

• 发表时间: 2009
• 作者: 津留俊英;羽多野忠;原田哲男;山本正樹
• 通讯作者: 山本正樹