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Three-dimensional shape measurement by imaging ellipsometry
通过成像椭偏仪进行三维形状测量
基本信息
- 批准号：23760042
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Ellipsometry is widely utilized for investigating surface and optical properties of thin films. We proposed a new concept for 3D shape measurement of specular objects by ellipsometry. For precise and fast measurement, imaging ellipsometer using a liquid crystal variable retarder was developed. A high precision achieved by our proposed method is expected for 3D shape measurement in various applications.
椭偏仪被广泛用于研究薄膜的表面和光学性质。提出了一种利用椭圆偏振测量法测量镜面物体三维形状的新概念。为了实现精确、快速的测量，研制了一种基于液晶可变延迟器的成像椭偏仪。我们提出的方法有望在各种应用中实现高精度的三维形状测量。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測
使用液晶可变延迟器使用倾斜椭偏仪进行三维形状测量
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：F. Kaneda;et al.;久保 敦;津留俊英
- 通讯作者：津留俊英
傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測
使用倾斜椭偏仪进行 3D 形状测量
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：I. Yamada;J. Nishii;and M. Saito;津留俊英
- 通讯作者：津留俊英
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