Study on the development of position sensor for ultra precision control

超精密控制位置传感器的研制研究

• 批准号: 20760271
• 负责人: UCHIDA Yoshihisa
• 金额: $ 2.16万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760271/
• 关键词: 位置センサ; 回折格子; 位置決め; アライナー; 変位センサ; 角度センサ; 変位計; 回折

In this research, ultra precision position sensors for manufacturing of electric and mechanical devices and controlling of atoms and molecules were proposed. These sensors based on the diffraction phenomenon have simple configuration and high repetition accuracy. Automatic alignment sensor and automatic position sensor were developed. Multi-axis automatic sensing and control for 2 axes position senor and angle sensor were realized. The positioning accuracies of the standard deviations 0.07nm (X-axis) and 0.23nm (Y-axis) are estimated.

在本研究中，提出了用于电子和机械设备制造以及原子和分子控制的超精密位置传感器。这些基于衍射现象的传感器结构简单，重复精度高。研制了自动对中传感器和自动位置传感器。实现了两轴位置传感器和角度传感器的多轴自动检测和控制。估计了X轴和Y轴的标准偏差分别为0.07nm和0.23nm的定位精度。

项目成果

回折モアレ型変位センサの開発

衍射莫尔型位移传感器的开发

• 发表时间: 2010
• 作者: 樋口智哉;他
• 通讯作者: 他

Micro-nano position control system using interferometric phenomena

利用干涉现象的微纳位置控制系统

• 发表时间: 2011
• 作者: Tomoya Higuchi;et al.
• 通讯作者: et al.

回折モアレ光を用いたXY軸自動位置決め装置の開発

利用衍射莫尔光的自动XY轴定位装置的开发

• 发表时间: 2010
• 作者: 樋口智哉;内田敬久
• 通讯作者: 内田敬久

反射型回折モアレ光による精密位置センサの開発

开发利用反射衍射莫尔光的精密位置传感器

• 发表时间: 2010
• 作者: M. Tanabe;K. Okubo;N. Tagawa;T. Moriya;岩田雅史
• 通讯作者: 岩田雅史

Characteristics of Interferometric Measuring System for Sub-Nanometer Positioning

亚纳米定位干涉测量系统的特点

• 发表时间: 2009
• 作者: 福田浩士;小田垣雅人;樋脇治;Yoshihisa Uchida
• 通讯作者: Yoshihisa Uchida