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Study on the formation of carbon thin films obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with ultra low-temperature tunneling reaction of H atoms at ultra low temperature

Study on the formation of carbon thin films obtained by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with ultra low-temperature tunneling reaction of H atoms at ultra low temperature
超低温电子束诱导化学气相沉积结合H原子超低温隧道反应制备碳薄膜的研究
批准号：
21560031
负责人：
SATO Tetsuya
金额：
$2.91万
依托单位：
University of Yamanashi
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21560031/
关键词：
カーボン非晶質電子衝撃薄膜極低温トネンルメタン水素原子低速電子欠陥密度アモルファストンネルDLCトンネル現象低温

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We synthesized carbon films by electron-beam-induced-chemical vapor deposition combined with low-temperature H tunneling reactions on cooled substrates, which adsorb methane gases. The concentration of hydrogen(C_H) in carbon films were very low(1% to 6 at.%). The value of optical band gap changed from 0. 9 eV to 2. 5 eV. The values of spin density(Ns) decreased with increasing C_H and less than 10^<18> cm-^3 were found for the films with low sp^2 content.
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会议论文
低速電子線照射により極低温合成したカーボン膜のESRによる構造欠陥評価
低速电子束辐照低温合成碳膜的ESR结构缺陷评价
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Kaneko, T. Nagano, K. Akiyama, T. Ito, M. Yasui, Y. Hirabayashi, H. Funakubo, and M. Yoshimoto, 小林直樹,山田竜太郎,年森隆明,森田直樹,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和]
通讯作者： 小林直樹,山田竜太郎,年森隆明,森田直樹,佐藤哲也,有元圭介,山中淳二,中川清和
低速電子線誘起反応と水素原子の低温トンネル反応による炭素薄膜の極低温合成
利用慢电子束诱导反应和氢原子低温隧道反应低温合成碳薄膜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [佐藤哲也]
通讯作者： 佐藤哲也
メタン凝縮層からの炭素薄膜極低温合成
甲烷凝结层低温合成碳薄膜
DOI： --
发表时间： 2010
期刊： New Diamon
影响因子： --
作者： [佐藤哲也, 伊東佑将, 森田直樹, 井草裕志, 小林憲明, 中川清和, 佐藤昇司]
通讯作者： 佐藤昇司
CH_4 Ar固体薄膜への低速電子線衝撃: Arマトリックス単離赤外分光法による反応解析
CH_4 慢电子束对 Ar 固体薄膜的影响：使用 Ar 基质隔离红外光谱进行反应分析
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [児玉和也, et al.., 佐藤哲也]
通讯作者： 佐藤哲也
共 17 条
    Low temperature synthesis of fluororesin thin films by plasma excitation of fluorocarbon condensed solid thin films
    • 批准号：
      17K06816
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      SATO Tetsuya
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    Development Study of High Mach Integrated Control of the Hypersonic Demonstration Vehicle Installing the Air-Breathing Engine, "HICICO"
    • 批准号：
      15H02323
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $28.04万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      SATO Tetsuya
    • 依托单位：
      Waseda University
    Induction of magnetic function on two-dimensional metal thin film based on quantum well structure and its application
    • 批准号：
      15H01998
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $26.96万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      SATO Tetsuya
    • 依托单位：
      Keio University
    Study on the ultra-low temperature synthesis of amorphous carbon thin films obtained by plasma excitation method of condensed gas.
    • 批准号：
      26390095
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      SATO Tetsuya
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    海外基金