Improvement of Interfacial Functions in Eco-devices Based on Control of Interfacial Nanostructure

基于界面纳米结构控制的生态器件界面功能改善

• 批准号: 21560746
• 负责人: MAEDA Masakatsu
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21560746/
• 关键词: 界面機能; 異材界面構造; 界面反応制御; 広禁制帯幅化合物半導体; 炭化珪素; 窒化ガリウム; 金属ガラス; 超音波接合; 熱的安定性評価; 結晶化メカニズム; 等速昇温変態曲線; ガラス遷移温度; 単結晶窒化ガリウム; オーム性電極; コンタクト通電特性; 単結晶炭化珪素; 多段ステップ昇温熱処理

The present study aims to clarify the relation between functions and structures of three dissimilar materials interfaces. The interfacial structure of SiC/ Ti/ Al changes the phase adjacent to SiC from Ti to TiAl_3 and finally to Ti_3SiC_2 by annealing. Electrical properties also change corresponding to the change in the phase adjacent to SiC. Ohmic conduction is achieved by forming Ti_3SiC_2 adjacent to SiC. Development of ohmic properties of GaN/ Ti interface is dominated by nitrogen vacancies in GaN sub-interface produced by the interfacial reaction. Devitrification of Zr_<55> Cu_<30> Ni_5Al_<10> in the vicinity of the interface with Al starts at lower temperature than that of Zr_<55> Cu_<30> Ni_5Al_<10> bulk.

本研究旨在阐明三种不同材料界面的功能和结构之间的关系。SiC/ Ti/ Al的界面结构通过退火使与SiC相邻的相由Ti变为TiAl_3，最后变为Ti_3SiC_2。电学性质也随SiC相邻相的变化而变化。通过在SiC附近形成Ti_3SiC_2来实现欧姆传导。GaN/ Ti界面欧姆性质的发展主要是由界面反应产生的氮空位主导的。Zr_<55> Cu_<30> Ni_5Al_<10>在Al界面附近的脱硝开始温度低于Zr_<55> Cu_<30> Ni_5Al_<10>块体。

项目成果

Electrical properties and structure of contact interface between Ti3SiC2 and p-type GaN

• DOI: 10.1088/1742-6596/379/1/012021
• 发表时间: 2012-08
• 期刊: Journal of Physics: Conference Series
• 作者: A. M. Halil;M. Maeda;Yasuo Takahashi

n型窒化ガリウムへのオーミックコンタクト形成とそのメカニズム

n型氮化镓欧姆接触的形成及其机理

• 发表时间: 2012
• 作者: 前田将克;高橋康夫
• 通讯作者: 高橋康夫

半導体装置、及び、半導体装置の製造方法

半导体装置及半导体装置的制造方法

• 发表时间: 2022

Effect of interfacial reaction on electrical conduction across the interface between n-type gallium nitride and contact materials

界面反应对n型氮化镓与接触材料界面导电的影响

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proc.International Symposium on Materials Science and Innovation for Sustainable Society
• 作者: M.Maeda;T.Yamasaki;Y.Takahashi
• 通讯作者: Y.Takahashi

ジルコニウム基金属ガラスとアルミニウムの異材界面の構造と安定性

锆基金属玻璃与铝界面的结构及稳定性

• 发表时间: 2010
• 作者: 児玉拓己;前田将克;高橋康夫
• 通讯作者: 高橋康夫