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超臨界流体中でのレーザー照射を利用した薄膜形成

在超临界流体中利用激光照射形成薄膜

基本信息

批准号：
09F09089
负责人：
後藤元信
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Kumamoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

超臨界二酸化炭素中でのパルスレーザー照射によるアブレーションおよびそれによる微粒子・薄膜の形成を検討した。金および銀プレートをターゲットとしてレーザー(Nd : YAG Laser 10Hz 532nm)照射し、二酸化炭素の密度とレーザー照射時間の金属プレートへの影響ならびに生成された金属ナノ粒子への影響を検討した。ナノ粒子を集積するためのコレクターとして、シリコンウェーハを用いた。走査型電子顕微鏡ならびにレーザー顕微鏡によりターゲットプレートおよび、コレクター上の粒子を観察した。金属プレートに生成したクレーターは高圧ほど深くなり、8-10MPaにその最大値が観察された。これは臨界点近傍であり、二酸化炭素の熱容量が最大となるあたりに相当する。流体の臨界点近傍での急激な熱物性変化によりレーザーアブレーションの現象が影響され、生成するクレーターの深さが圧力により変化することが分かった。また、生成した微粒子は条件により異なり50nm以下のナノ粒子からサブミクロン粒子であることが確認できた。単一球状ものから数珠状に連なったもの、また、粒子の周りに小さい粒子が凝集した形状のものなどが実験条件に依存して得られることがわかった。

Study on the Formation of Microparticles and Thin Films in Supercritical Carbon The influence of metal particles on the density of gold and silver irradiated by Nd : YAG Laser at 10Hz and 532nm is discussed. The particles are concentrated in the middle of the room. The electron microscope is used to detect the particles in the electron microscope. The maximum value of metal formation is 8-10MPa. The maximum heat capacity of carbon dioxide near the critical point is equivalent to that of carbon dioxide. The phenomenon of rapid thermal property change near the critical point of the fluid affects the formation of the fluid and the pressure change. The conditions for the generation of fine particles are different from those for particles below 50nm. A spherical shape depends on the shape of the particle.

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Gold Nanoparticles Fabricated by Pulsed Laser Ablation in Supercritical CO2

超临界 CO2 中脉冲激光烧蚀制备金纳米颗粒

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
S.Machmudah;M.Goto;Wahyudiono;Y.Kuwahara;M.Sasaki
通讯作者：
M.Sasaki

Generation of Gold nanoparticles by Laser Ablation in Supercritical CO2

超临界 CO2 中激光烧蚀生成金纳米颗粒

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
Siti Machmudah;他
通讯作者：
他

Nanoparticles Production using Pulsed Laser Ablation of Gold Substrate in Super critical CO2

在超临界 CO2 中使用脉冲激光烧蚀金基底生产纳米粒子

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
Tokiwa;T.;K. Asamori;N. Hiraga;O. Yamada;H. Moriya;H. Hotta;I. Kitamura;シティマームダー・ワーユディオノ・桑原豊・佐々木満・後藤元信
通讯作者：
シティマームダー・ワーユディオノ・桑原豊・佐々木満・後藤元信

Pulsed Laser Ablation of Gold Plate in Superchtical CO2 for Nano-structued Material Fabrication

超光学 CO2 中金板的脉冲激光烧蚀用于纳米结构材料制造