ナノプリントによる金属ナノ配線技術の確立とフレキシブル電子デバイスへの応用

利用纳米印刷建立金属纳米线技术及其在柔性电子器件中的应用

• 批准号: 09J03226
• 负责人: 海野 徳幸
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Tokyo University of Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-09J03226/
• 关键词: ナノプリント; 金属パターニング; 酸化金属離型膜; プラスチック基板; レプリカモールド; 引っ張り加工; ロールナノインプリント; 電子ビーム回転露光; フレキシブルデバイス

本研究は、ハードスタンプを用いたコンタクトプリントによって、透明基板であるプラスチック上に対して金属微細パターンを形成し加工する技術を確立することを目的としている。本年度の目標は、プラスチック基板上に形成した金属微細パターンを更に変形させる手法を確立することであった。まず、効率的にプラスチック基板上に金属パターンを形成する技術として、レプリカモールドを用いたナノトランスファープリントに関する研究を行った。ここでは、前年度までに考案した酸化金属離型膜がプラスチックレプリカモールドに対して有効であるかどうかを研究した。結果、酸化クロム離型膜をシクロオレフィンポリマーにて作成したレプリカモールドに適用することで、従来困難であったプラスチックレプリカモールドからの微細金属パターンの転写が可能になることを明らかにした。従来、ナノトランスファープリントはポリジメチルシロキサンと呼ばれる材料に依存した系であったが、本結果により、他のプラスチックレプリカモールドでもナノトランスファープリントが行えるようになった。本研究の結果はベルリン(ドイツ)にて行われたThe 37th Intemational Conference on Micro-and Nano-Engineeringにて発表を行いその後Microelectronic Engineeringに投稿した。次に、プラスチック基板上に作成した金属微細パターンを更に追加工するプロセスについて検討した。ここでは、プラスチック基板を加熱後引っ張ってパターンを変形させる手法をとった。結果、初期のラインアンドスペース金属パターンよりもスペース幅の大きなパターンを形成することに成功した。本手法を適用すれば、高機能な透明電極シートなどの作製がより簡易になると考えている。

は, this study ハ ー ド ス タ ン プ を with い た コ ン タ ク ト プ リ ン ト に よ っ て, transparent substrate で あ る プ ラ ス チ ッ ク on に し seaborne て fine metallic パ タ ー ン を し processing す る technology を establish す る こ と を purpose と し て い る. は の target this year, プ ラ ス チ ッ ク substrate に form し た fine metallic パ タ ー ン を more に - shaped さ せ る gimmick を establish す る こ と で あ っ た. ま ず, sharper rate に プ ラ ス チ ッ ク substrate に metal パ タ ー ン を form す る technology と し て, レ プ リ カ モ ー ル ド を with い た ナ ノ ト ラ ン ス フ ァ ー プ リ ン ト に masato す る を line っ た. こ こ で は, former annual ま で に test case し た acidification metal mold が プ ラ ス チ ッ ク レ プ リ カ モ ー ル ド に し seaborne て have sharper で あ る か ど う か を research し た. Results, acidification ク ロ ム from type membrane を シ ク ロ オ レ フ ィ ン ポ リ マ ー に て made し た レ プ リ カ モ ー ル ド に applicable す る こ と で, difficulty 従 to で あ っ た プ ラ ス チ ッ ク レ プ リ カ モ ー ル ド か ら の fine metal パ タ ー ン の planning may write が に な る こ と を Ming ら か に し た. 従, ナ ノ ト ラ ン ス フ ァ ー プ リ ン ト は ポ リ ジ メ チ ル シ ロ キ サ ン と shout ば れ る material に dependent し た department で あ っ た が, this result に よ り, he の プ ラ ス チ ッ ク レ プ リ カ モ ー ル ド で も ナ ノ ト ラ ン ス フ ァ ー プ リ ン ト が line え る よ う に な っ た. The <s:1> results of this study ベ ベ リ リ <e:1> (ド <s:1> リ)にて were presented at われた the 37th national Conference on Micro-and Nano-Engineeringにて and を were followed by Microelectronic Engineeringに submission to た. に, プ ラ ス チ ッ ク substrate に made し た fine metallic パ タ ー ン を に more processing す る プ ロ セ ス に つ い て beg し 検 た. The で で and プラスチッ substrate を are heated and then the っ sheet ってパタ and <s:1> を を を deformation させる is carried out をとった. Early results, の ラ イ ン ア ン ド ス ペ ー ス metal パ タ ー ン よ り も ス ペ ー ス の big picture き な パ タ ー ン を form す る こ と に success し た. This technique を applies す れ ば, high functional な transparent electrode シ ー ト な ど の cropping が よ り simple に な る と exam え て い る.

项目成果

Transparent Roll Mold Fabrication Method and Transfer to Photo-curable Polymer

透明卷模制造方法及其向光固化聚合物的转移

• DOI: 10.2494/photopolymer.24.57
• 发表时间: 2011
• 期刊: Journal of Photopolymer Science and Technology
• 影响因子: 0.8
• 作者: Noriyuki Unno;Jun Taniguchi
• 通讯作者: Jun Taniguchi

High Aspect Ratio Imprinting Technology Using Moth Eye Structure Mold

使用蛾眼结构模具的高深宽比压印技术

• 发表时间: 2011
• 作者: Noriyuki UNNO;Jun TANIGUCHI
• 通讯作者: Jun TANIGUCHI

Fabrication of a seamless roll mold using inorganic electron beam resist with postexposure bake

使用无机电子束抗蚀剂和曝光后烘烤制造无缝辊模具

• DOI: 10.1116/1.3656052
• 发表时间: 2011
• 期刊: Journal of Vacuum Science & Technology
• 作者: Noriyuki UNNO;Jun TANIGUCHI;Kiyoshi ISHIKAWA
• 通讯作者: Kiyoshi ISHIKAWA

Electrical properties of transferred metal nanopattern using metal oxide release layer

使用金属氧化物释放层转移金属纳米图案的电性能

• 发表时间: 2010
• 期刊: Journal of Vacuum Science & Technology B
• 影响因子: 1.4
• 作者: Noriyuki Unno;Jun Taniguchi;Shouichi Ide
• 通讯作者: Shouichi Ide

Three-dimensional Metal Patterning Technique onto Plastic Substrate using Metal Oxide Release Layer

使用金属氧化物脱模层在塑料基板上进行三维金属图案化技术

• 发表时间: 2010
• 作者: Noriyuki UNNO;Jun TANIGUCHI
• 通讯作者: Jun TANIGUCHI