ナノインプリントにおける樹脂流動挙動の解明とロールナノインプリントへの応用

点击翻译按钮获取中文摘要

本研究では、ナノインプリントモールド内における樹脂の微小領域流れの把握を目的としている。本年度は、昨年度フィンランド・VTT Technical Research Centre of Finland（以下VTT）において熱ロールナノインプリント応用に関する研究を行った結果を精査し取りまとめた。原子間力顕微鏡による観察の結果、ナノスケール寸法のモールドとマイクロスケール寸法のモールドを用いた際の熱ロールナノインプリント転写結果にはパターンの充填特性に大きな違いが見られることを明らかにした。これらの結果は、Journal of Vacuum Science & Technology Bに投稿の結果、査読付き論文として受理された。当初は、熱ナノインプリントに対してもmicro-DHPTV法を応用する予定であったが原子間力顕微鏡による観測によって上記の傾向を明らかにすることに成功したので、本年度は更にUV硬化性樹脂流動挙動を詳細に観察することとした。具体的には、UVナノインプリント時において基板と樹脂を加熱することによってその流動がどのように変化するのかを調べた。結果、基板温度が高いほど同荷重にてナノインプリントした際に膜厚が薄くなる傾向が確認できた。これらの結果は査読付き国際会議であるThe 15th International Heat Transfer Conferenceにて採択され発表を行った。加えて、より小さな粒子直径のPTV観察手法として全反射蛍光顕微鏡に着目し、その3次元位置特定に必要な校正プレートの新たな作製手法を確立した。こちらの結果も、査読付き論文誌Microelectronic Engineering投稿後受理された。以上を含め、本年度は査読付き論文誌計３報と、国内学会４件、国際学会２件の計６件の発表を行った。