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薄膜ライブラリを用いたコンビナトリアル評価法の研究

基于薄膜库的组合评价方法研究

基本信息

批准号：
09J07636
负责人：
青野祐子
金额：
$ 0.9万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では,サーモグラフィを利用し,条件の異なる微小な薄膜サンプルを集積した薄膜ライブラリ上での高効率熱特性評価法の実現を目的としている,具体的な熱特性として,薄膜アモルファス合金の結晶化特性,薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度の評価を目指してきた.平成21年度には,薄膜アモルファス合金の結晶化開始温度の高効率評価に成功した.そこで本年度は,薄膜アモルファス合金の時間温度変態曲線の高効率な解明法と,薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度評価法の基礎検討について重点的に研究を行った.時間温度変態曲線の高効率な解明法では,温度傾斜真空加熱炉を製作し,他種類の温度条件での保持試験を一括で行う手法を提案した,この加熱炉により,薄膜アモルファス合金サンプルを加熱・保持し,温度の異なる各部での結晶化までに要した時間を測定する.結晶化は,サーモグラフィにより検知する.Pd-Cu-SiおよびNi-Nb-Zr薄膜アモルファス合金で実際に測定を行ったところ,各合金の時間温度変態曲線を1回の加熱・保持試験で得ることに成功した.また,得られた結果から,アーレニウスプロットによる活性化エネルギの算出にも成功した.提案する手法では,従来の示差走査熱量計による測定と比較し,72%の測定時間の削減を達成した.次に,薄膜形状記憶合金については,大面積のTi-Pd-Ni薄膜形状記憶合金のマルテンサイト変態温度および逆変態温度を,サーモグラフィで検知することに成功した.サーモグラフィによる,非接触測定に成功したことで,今後,組成傾斜を有する薄膜ライブラリを利用した,薄膜形状記憶合金の変態温度のコンビナトリアル評価を実現することが期待できる。本研究課題では,上述の成果について,本年度中に投稿論文5編,国際会議での発表2回,国内会議での発表1回を行った.

In this study, the purpose of the high efficiency thermal property evaluation method for thin film shape memory alloys is to evaluate the crystallization characteristics of thin film shape memory alloys and the temperature change of thin film shape memory alloys under different conditions. In 2001, the evaluation of high crystallization rate of thin film alloy was successful. This year, the high efficiency method for solving the time-temperature curve of thin film shape memory alloys and the basic research on the time-temperature curve of thin film shape memory alloys were carried out. Time temperature curve of high efficiency solution method, temperature tilt vacuum furnace production, different temperature conditions, including maintenance test method proposed, this furnace, thin film alloy, heating, maintenance, temperature difference, all parts of the crystallization time measurement. Crystallization of Pd-Cu-Si and Ni-Nb-Zr thin films was successfully performed on the time-temperature curves of the alloys. The result of the test was that the activation of the enzyme was successful. The proposed method was used to reduce the measurement time by 72%. Second, thin film shape memory alloy is successfully tested for large area Ti-Pd-Ni thin film shape memory alloy. In the future, the composition tilt of the thin film shape memory alloy will be used to evaluate the temperature of the thin film shape memory alloy. This research topic is based on the above achievements. In the middle of this year, 5 papers were submitted, 2 international conferences were presented, and 1 domestic conference was presented.