Three dimensional nanostructure fabrication technology using self-assemble phenomena

利用自组装现象的三维纳米结构制造技术

• 批准号: 21360059
• 负责人: WARISAWA Shinichi
• 金额: $ 12.15万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360059/
• 关键词: ナノ・マイクロ加工; 自己組織化; 三次元ナノ構造; ブロック共重合体; 集束イオンビーム化学気相成長法; テンプレート; 多層膜; 自由膜; メカニカル振動子; プラズモン共鳴; 光学多層膜; 基板処理; FIB-CVD; 薄膜形成; ナノメカニクス

We developed three-dimensional nanostructure fabrication methods using a self-assembly phenomena of diblock copolymer, polystyrene-polymethyl methacrylate that forms pillar, pore and lamella structures at 30-100nm order scale. Concretely speaking, we proposed and demonstrated the following four methods :(1) Arrangement of the self-assembled nanostructures on three-dimensional nanostructures.(2) Alignment of the self-assembled nanostructures in three-dimensional space by using nano templates.(3) Fabrication of multilayer nanostructures using the self-assembled nanostructures as templates.(4) Fabrication of free standing self-assembled nanostructures using three-dimensional nano frames.(5) Nano patterning method of the self-assembled nanostructures by energy beam irradiation.(6) Thin film jointing method using focused ion beam irradiation.

我们使用二嵌段共聚物，聚苯乙烯 - 甲基丙烯酸甲基丙烯酸酯的自组装现象开发了三维纳米结构制造方法，该现象在30-100nm订购量表中形成支柱，毛孔和薄片结构。 Concretely speaking, we proposed and demonstrated the following four methods :(1) Arrangement of the self-assembled nanostructures on three-dimensional nanostructures.(2) Alignment of the self-assembled nanostructures in three-dimensional space by using nano templates.(3) Fabrication of multilayer nanostructures using the self-assembled nanostructures as templates.(4) Fabrication使用三维纳米帧的自由站立的自组装纳米结构。（5）通过能量束辐照自组装的纳米结构的纳米图案方法。（6）使用聚焦离子束辐射的薄膜接头方法。

项目成果

自己組織化ジブロック共重合体薄膜をポジ型/ネガ型混合レジストとして用いた電子線リソグラフィ

使用自组装二嵌段共聚物薄膜作为混合正/负抗蚀剂的电子束光刻

• 发表时间: 2012
• 作者: 鈴木裕之;米谷玲皇;割澤伸一;石原直
• 通讯作者: 石原直

電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング

使用电子束光刻对二嵌段共聚物微相分离膜进行选择性图案化

• 发表时间: 2012
• 作者: 鈴木裕之;米谷玲皇;割澤伸一;石原直
• 通讯作者: 石原直

Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam

聚焦离子束嵌段共聚物自组装结构的图案化和碳化

• 发表时间: 2011
• 作者: S.Warisawa;R.Mitsuhashi;R.Kometani;S.Ishihara
• 通讯作者: S.Ishihara

Layer-by-layer Stacking Method for 3-D Nano Structure Fabrication Using Block Copolymer Self Assembly

利用嵌段共聚物自组装制造 3D 纳米结构的逐层堆叠方法

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Obikawa;T.Hakutani;T.Sekine;S.Numajiri;T.Matsumura;M.Yoshino;S.Warisawa
• 通讯作者: S.Warisawa

Periodic cylindrical nanostructure localization by means of affinity control in diblock copolymer microphase separation

二嵌段共聚物微相分离中通过亲和力控制实现周期性圆柱形纳米结构定位

• 发表时间: 2009
• 作者: 岸田裕貴;高谷裕浩;林照剛;道畑正岐;小久保研;Shin'ichi WARISAWA
• 通讯作者: Shin'ichi WARISAWA