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Study of physical process during rapid heating of metal nanoparticle and the laser direct writing of micro-wiring
金属纳米粒子快速加热物理过程及激光直写微线路研究
基本信息
- 批准号：21360354
- 负责人：
- 金额：$ 4.99万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2011
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The physical process during the local rapid heating of metal nanoparticle by laser irradiation and the laser direct writing of micro-wiring were studied. By laser irradiation to a metal nanoparticle, the laser energy is effectively absorbed by plasmon band of the metal nanoparticle and immediately converted to thermal energy. The inhibition of oxidation during Cu micro-patterning using Cu nanoparticle and the reduction of Cu diffusion into Au coating film prepared by sintering of Au nanoparticle film on Cu substrate were developed by applying the laser irradiation to metal nanoparticles.
研究了激光局部快速加热金属纳米颗粒和激光直写微布线的物理过程。通过激光照射金属纳米粒子，激光能量被金属纳米粒子的等离子体带有效吸收，并立即转化为热能。利用激光照射金属纳米粒子，研究了Cu纳米粒子在Cu基板上烧结成Cu纳米粒子膜，抑制Cu在Cu微图纹过程中的氧化和减少Cu在Cu基板上的扩散。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Fabrication of Micropatterns by Laser Direct Writing Using Nanomaterials
使用纳米材料激光直写制造微图案
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Akira Watanabe;M. C. Yang;C. W. Cheng;C. Y. Lin;and W. C. Shen
- 通讯作者：and W. C. Shen
レーザー直接描画法を用いたウェットプロセスによる機能膜微細パターン形成 (Micropatterning of functional films by wet process using laser direct writing method)
使用激光直写法通过湿法工艺对功能薄膜进行微图案化
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：伏見公志;熊谷美那;宮元一成;長谷川靖哉;渡辺明
- 通讯作者：渡辺明
かご型シルセスキオキサン系高分子材料
笼型倍半硅氧烷高分子材料
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：J. Jayaraj;C. L. Mendis;T. Ohkubo;K. Oh-ishi;K. Hono;渡辺明
- 通讯作者：渡辺明
Micropatterning of Functional Film by Liquid Phase Laser Direct Patterning Method
液相激光直接图案化法对功能膜进行微图案化
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：A. Watanabe;E. Ohta and A. Shimofuku
- 通讯作者：E. Ohta and A. Shimofuku
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