Tube-type micropump by using MEMS technology

采用MEMS技术的管式微型泵

• 批准号: 21760108
• 负责人: KIM Joon-wan
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760108/
• 关键词: マイクロマシン; MEMS; 電界共役流体(ECF); マイクロポンプ; 平面集積化; 機能性流体; 液体マイクロレンズ; 液体マイクロレートジャイロ; 管路形ポンプ

A high power tube-type ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropump that consists of triangular prism and slit electrode pairs was proposed and fabricated by MEMS. As advanced ECF micropumps, they were in-plane integrated for high performance by the serialization and parallelization, achieving output power density of the world top class.

提出了一种由三角棱镜和狭缝电极对组成的大功率管型电共轭流体微泵。作为先进的ECF微泵，它们通过串行化和并行化实现了平面内高性能集成，输出功率密度达到了世界一流水平。

项目成果

MEMS技術を用いた管路形ECFマイクロポンプ

采用MEMS技术的管道式ECF微型泵

• 发表时间: 2010
• 作者: グェン ヴィンソンタン;金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥

Tube-type ECF Pump

管式ECF泵

• 发表时间: 2009
• 作者: Joon-wan Kim;Toshiya Suzuki;Shinichi Yokota;Kazuya Edamura
• 通讯作者: Kazuya Edamura

Tube-type micropump by using electro-conjugated fluid (ECF)

• DOI: 10.1016/j.sna.2011.10.027
• 发表时间: 2012-02-01
• 期刊: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
• 影响因子: 4.6
• 作者: Kim, Joon-wan;Suzuki, Toshiya;Edamura, Kazuya
• 通讯作者: Edamura, Kazuya

MEMS技術によるECFマイクロレートジャイロの開発

利用MEMS技术开发ECF微速率陀螺仪

• 发表时间: 2011
• 作者: 今村恒彦;鈴木俊也;金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥

New Microactuators Using Functional Fluids(Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, Part III Micro Actuators)

使用功能流体的新型微执行器（引领突破的下一代执行器，第三部分微型执行器）

• 发表时间: 2010
• 作者: Shinichi Yokota;Kazuhiro Yoshida;Kenjiro Takemura;Joon-wan Kim
• 通讯作者: Joon-wan Kim