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Tube-type micropump by using MEMS technology

Tube-type micropump by using MEMS technology
采用MEMS技术的管式微型泵
批准号：
21760108
负责人：
KIM Joon-wan
金额：
$2.91万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760108/
关键词：
マイクロマシンMEMS電界共役流体(ECF)マイクロポンプ平面集積化機能性流体液体マイクロレンズ液体マイクロレートジャイロ管路形ポンプ

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
提出了一种由三角棱镜和狭缝电极对组成的高功率管式电共轭流体微泵，并用MEMS进行了加工。作为先进的ECF微泵，它们通过串行化和并行化实现了高性能的面内集成，达到了世界一流的输出功率密度。
英文摘要
A high power tube-type ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropump that consists of triangular prism and slit electrode pairs was proposed and fabricated by MEMS. As advanced ECF micropumps, they were in-plane integrated for high performance by the serialization and parallelization, achieving output power density of the world top class.
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会议论文
MEMS技術を用いた管路形ECFマイクロポンプ
采用MEMS技术的管道式ECF微型泵
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [グェン ヴィンソンタン, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥]
通讯作者： 枝村一弥
Tube-type ECF Pump
管式ECF泵
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Joon-wan Kim, Toshiya Suzuki, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura]
通讯作者： Kazuya Edamura
Tube-type micropump by using electro-conjugated fluid (ECF)
DOI： 10.1016/j.sna.2011.10.027
发表时间： 2012-02-01
期刊： SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
影响因子： 4.6
作者： [Kim, Joon-wan, Suzuki, Toshiya, Edamura, Kazuya]
通讯作者： Edamura, Kazuya
MEMS技術によるECFマイクロレートジャイロの開発
利用MEMS技术开发ECF微速率陀螺仪
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [今村恒彦, 鈴木俊也, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥]
通讯作者： 枝村一弥
共 18 条
    Formation of aligned nanofibers by combining ECF jet flow and electrospinning
    • 批准号：
      20K20957
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.08万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      KIM Joon-wan
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    ECF microhydraulic pressure sources with high output power density using nanofabrication technology
    • 批准号：
      18H01359
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.98万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      KIM Joon-wan
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Nano / micro patterning using an electrostatic lens array and its application to neural cell networks
    • 批准号：
      16K14143
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.33万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      KIM Joon-wan
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    ECF micropump-integrated Micro droplet generating device and its applications
    • 批准号：
      26289026
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.57万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      KIM Joon-wan
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    国内基金
    海外基金
    导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
    • 批准号：
      2026JJ50499
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      樊波
    • 依托单位：
      南华大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
    • 批准号：
      JCZRQNB202600477
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北光谷实验室
    用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      蔡先法
    • 依托单位：
      南京邮电大学