Focus-Tunable ECF Microlens by Using MEMS Technology

采用 MEMS 技术的焦点可调 ECF 微透镜

• 批准号: 23760133
• 负责人: KIM Joon-wan
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760133/
• 关键词: MEMS; 電界共役流体(ECF); マイクロポンプ; 可変焦点マイクロレンズ; 電界共役流体; MEMS技術; 可変焦点レンズ; マイクロ液圧源; マイクロマシン; ECF

This research proposes a novel elastomer-based and liquid-filled tunable microlens by using an electro-conjugate fluid (ECF) jet and MEMS technology. Tuning an elastomer-based microlens is to change the geometry of the boundary determined by the control pressure of the chamber by using an ECF micropump inside the tunable microlens. A high power ECF micropump that consisted of triangular prism and slit electrode pairs was proposed and fabricated by MEMS technology. As advanced ECF micropumps, they were integrated for high performance by the serialization and parallelization, achieving output power density of the world top class. The prototypes whose ECF micropump were integrated and fabricated by MEMS technology were manufactured and experimentally investigated. The experimental results showed the feasibility of micro varifocal lens devices powered by ECF jet.

本研究利用电共轭流体射流和MEMS技术，提出了一种基于弹性体的充液可调微透镜。弹性体微透镜的调谐是通过在可调谐微透镜内使用ECF微泵来改变由腔室控制压力决定的边界几何形状。提出并利用MEMS技术制造了一种由三角棱镜和狭缝电极对组成的大功率ECF微泵。作为先进的ECF微泵，它们通过串行化和并行化集成了高性能，实现了世界一流的输出功率密度。利用MEMS技术制造了ECF微泵样机并进行了实验研究。实验结果表明，用射流驱动微变焦透镜装置是可行的。

项目成果

MEMS電極の平面集積化によるECFマイクロポンプの性能評価

通过MEMS电极平面集成评估ECF微泵的性能

• 发表时间: 2011
• 作者: グェン ヴィンソンタン;金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥

マイクロチップ冷却用環状ECFマイクロデバイスの特性評価

用于微芯片冷却的环形 ECF 微型装置的表征

• 发表时间: 2012
• 作者: X. Chen;T. Kato;M. Kawaguchi;M. Nosaka and J. Choi;金俊完,宮川裕史,横田眞一,枝村一弥
• 通讯作者: 金俊完,宮川裕史,横田眞一,枝村一弥

三角柱－スリット形電極対を用いた両方向ＥＣＦポンプ

使用三角棱柱狭缝电极对的双向 ECF 泵

• 发表时间: 2011
• 作者: 金俊完;横田眞一;枝村一弥
• 通讯作者: 枝村一弥

High Performance ECF(Electro-Conjugate Fluid) Micropump by the In-plane Integration of MEMS-fabricated electrodes

通过面内集成 MEMS 制造电极的高性能 ECF（电共轭流体）微型泵

• 发表时间: 2011
• 作者: J. Kim;S. Yokota;他2名
• 通讯作者: 他2名

ECFジェット駆動バルーン形マイクロアクチュエータ

ECF喷射驱动气球式微执行器

• 发表时间: 2012
• 作者: Joon-wan Kim;Toshiya Suzuki;Shinichi Yokota;Kazuya Edamura;山下悟,金俊完,横田眞一,枝村一弥
• 通讯作者: 山下悟,金俊完,横田眞一,枝村一弥