Development of an assembly-free fabrication process for microsystems driven by distributed actuators on a chip

开发由芯片上分布式执行器驱动的微系统的免组装制造工艺

• 批准号: 21760201
• 负责人: SUZUKI Takaaki
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Kagawa University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760201/
• 关键词: マイクロ・ナノデバイス; マイクロマシン; フォトリソグラフィ; 流体工学; ナノコンポジット

Composite material made of magnetic nanoparticles/SU-8 is expected to be a material of microactuators which can be controlled by external magnetizing field and easily fabricated by only photolithography. In this study, we evaluated the dispersivity of the proposed nanocomposites mixed by a planetary and an ultrasonic stirrers. As a result, the planetary stirrer achieves higher dispersivity than the ultrasonic one. Moreover, we propose assembly-free integration method for driving elements internally fabricated by infusing liquid nanocomposite and sacrificial resist into a microchannel before exposing. By a magnetic driving test in the microchannel, it is confirmed that the fabricated element made of the proposed nanocomposite moved with the external magnetic field applied by an electromagnet.

磁性纳米粒子/SU-8复合材料有望成为一种可通过外加磁场控制、仅用光刻法即可制备的微致动器材料。在这项研究中，我们评估了建议的纳米复合材料的分散性混合的行星和超声波搅拌器。结果表明，行星式搅拌器比超声波搅拌器具有更高的分散性。此外，我们提出了免组装集成方法的驱动元件内部制造的液体纳米复合材料和牺牲抗蚀剂注入到微通道曝光前。通过在微通道中的磁驱动测试，证实了由所提出的纳米复合材料制成的制造元件随着由电磁铁施加的外部磁场而移动。

项目成果

同心円マイクロメッシュ構造を用いた高速染色体解析デバイス

采用同心微网结构的高速染色体分析装置

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Mishima;K.Terao;H.Takao;F.Shimokawa;F.Oohira;T.Suzuki;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明

Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite

磁性纳米颗粒/SU-8 复合材料磁驱动微结构的制备

• 发表时间: 2011
• 作者: Y.Hosokawa;T.Nakahara;K.Terao;H.Takao;F.Shimokawa;F.Oohira;T.Suzuki
• 通讯作者: T.Suzuki

多重マスク回転傾斜露光法による3次元複雑マイクロ構造の作製

使用多掩模旋转倾斜曝光方法制造3D复杂微结构

• 发表时间: 2010
• 期刊: 日本AEM学会誌 Vol.18, No.4
• 作者: 平丸大介;鈴木博之;神野伊策;小寺秀俊;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明

マイクロ・ナノ加工技術とその応用

微纳加工技术及其应用

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Mishima;K.Terao;H.Takao;F.Shimokawa;F.Oohira;T.Suzuki;鈴木孝明;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明

同心円マイクロメッシュ構造を用いた高速染色体解析デバイスの開発

利用同心微网结构开发高速染色体分析装置

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Mishima;K.Terao;H.Takao;F.Shimokawa;F.Oohira;T.Suzuki;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木孝明;鈴木博之
• 通讯作者: 鈴木博之