Three dimensional multi-layered flow generator and its application
Three dimensional multi-layered flow generator and its application
三维多层流发生器及其应用
批准号：
19760172
负责人：
SUZUKI Takaaki
金额：
$2.4万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
本研究では、単一のマスクパターンからアライメントレスで複雑な3次元構造を作製するフォトリソグラフィ法を提案するとともに、提案するプロセスの具体的な応用例として3次元多層流を用いた高速マイクロミキサの試作・評価を行った。提案するフォトリソグラフィ技術は、遮光用のメタル層がパターニングされたガラス基板に紫外線硬化性樹脂を直接塗布し、裏面から紫外線を傾斜露光することによって、単一のマスクパターンから3次元的な構造を作製することができる。
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
Single-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製
单掩模倾斜光刻制造 3D 微混合器
单掩模倾斜光刻制造 3D 微混合器
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[萩尾吉則, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊]
通讯作者：
小寺秀俊
2層構造を有する細胞固定デバイスの開発
两层结构细胞固定装置的研制
两层结构细胞固定装置的研制
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[鈴木孝明, 平林恭稔, 神野伊策, 小寺秀俊]
通讯作者：
小寺秀俊
バルブレスマイクロポンプによる流体輸送
使用无阀微型泵进行流体输送
使用无阀微型泵进行流体输送
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
油空圧技術 47
影响因子：
--
作者：
[丸山大輔, 木村仁, 小関道彦, 伊能教夫, 丸山大輔, 鈴木孝明,秦秀敏,神野伊策,小寺秀俊, 鈴木孝明, 鈴木孝明]
通讯作者：
鈴木孝明
Modal Analysis for Externally Driven Micropump and Additio nal Mass Effect of Water
外部驱动微型泵的模态分析与水的附加质量效应
外部驱动微型泵的模态分析与水的附加质量效应
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics 47
影响因子：
--
作者：
[K. Kanda, S. Ishikawa, J. Ogawa, T. Suzuki, I. Kanno, and H. Kotera, Kensuke Kanda]
通讯作者：
Kensuke Kanda
Single-Mask Multidirectional Photolithography with Multiple R esist Coat for MultiLayered Microfluidic Networks
用于多层微流控网络的具有多重抗蚀剂涂层的单掩模多向光刻
用于多层微流控网络的具有多重抗蚀剂涂层的单掩模多向光刻
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[T. Suzuki, Y. Hirabayashi, K. Terao, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera, Takaaki Suzuki]
通讯作者：
Takaaki Suzuki
共 17 条
What in Japanese affects the development of Theory of Mind?
-
批准号：15K02537
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额：$2.41万
-
财政年份：2015
-
负责人：SUZUKI Takaaki
-
依托单位：
Construction of chromosome fiber analysis platform using MEMS technology
-
批准号：23360114
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
-
资助金额：$10.57万
-
财政年份：2011
-
负责人：SUZUKI Takaaki
-
依托单位：
Development of Crystalline Anisotropic Plasma Etching for Single Crystal Silicon
-
批准号：23651139
-
项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
-
资助金额：$2.5万
-
财政年份：2011
-
负责人：SUZUKI Takaaki
-
依托单位：
Development of an assembly-free fabrication process for microsystems driven by distributed actuators on a chip
-
批准号：21760201
-
项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
-
资助金额：$2.91万
-
财政年份：2009
-
负责人：SUZUKI Takaaki
-
依托单位：
On syntactic parsing by Japanese-speaking children
-
批准号：19520373
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额：$2.33万
-
财政年份：2007
-
负责人：SUZUKI Takaaki
-
依托单位：
海外基金