Constructing of film-deposition system equipped precursor recycling system

配备前驱体回收系统的薄膜沉积系统的建设

• 批准号: 21760593
• 负责人: UCHIDA Hiroshi
• 金额: $ 2.33万
• 依托单位: Sophia University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760593/
• 关键词: 薄膜プロセス; 超臨界流体; 有機金属化合物; 酸化物; 金属酸化物

The purpose of this research is to develop novel thin-film deposition system equipped recycling system for metal-organic precursors, which is designed totally based on supercritical fluid technology. The present research project was accomplished through (i) the trial production of recycling system for metal-organic compounds by extraction and separation process using supercritical carbon dioxide (CO_2), (ii) simulated experiment for collecting metal-organic compounds under pseudo-condition in film-deposition equipment, and (iii) conclusive discussion for simultaneous collection of unreacted precursors and byproduct compounds during film-deposition process under supercritical CO_2. We obtained some valuable data and knowledge for dissolution and decomposition behavior of Ti β-diketonates, typical precursors for titanium dioxide (TiO_2) films, under supercritical CO_2 condition, and then clarified the reaction mechanism from metal-organic precursors to solid TiO_2 deposition.

本研究的目的是开发新型薄膜沉积系统，该系统配备金属有机前驱体回收系统，该系统完全基于超临界流体技术设计。本课题通过超临界CO_2萃取分离金属有机物回收系统的试制，在膜沉积装置中模拟收集金属有机物的实验，（iii）对超临界CO_2沉积过程中未反应前驱体和副产物的同时收集进行了总结性讨论。本文对TiO_2薄膜的典型前驱体Ti β-二酮化合物在超临界CO_2条件下的溶解和分解行为进行了研究，获得了一些有价值的数据和认识，阐明了从金属有机前驱体到固体TiO_2沉积的反应机理。

项目成果

ホームページ等。

主页等

超臨界二酸化炭素流体中におけるチタン(IV)βジケトン錯体の溶解度

钛(IV)β-二酮络合物在超临界二氧化碳流体中的溶解度

• 发表时间: 2010
• 作者: 早川右真;関野一幸;内田寛;幸田清一郎
• 通讯作者: 幸田清一郎

超臨界二酸化炭素流体中における各種チタン錯体の溶解度

各种钛配合物在超临界二氧化碳流体中的溶解度

• 发表时间: 2010
• 作者: 早川右真;関野一幸;内田寛;幸田清一郎
• 通讯作者: 幸田清一郎

超臨界二酸化炭素流体処理による酸化チタン薄膜の合成

超临界二氧化碳流体处理合成氧化钛薄膜

• 发表时间: 2010
• 作者: 浅井悠介;内田寛;幸田清一郎
• 通讯作者: 幸田清一郎

Processing for Sol-gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide

使用超临界二氧化碳处理溶胶-凝胶衍生的金属氧化物薄膜

• 期刊: IOP Conf.Series : Mater. Sci. Eng. Accepted.
• 作者: Yusuke Asai;Saaya Narishige;Kaori Fujioka;Hiroshi Uchida;Seiichiro Koda
• 通讯作者: Seiichiro Koda