硬X線領域における波面補償システムの開発

硬X射线区域波前补偿系统的研制

基本信息

  • 批准号:
    10J00544
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.45万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 财政年份:
    2010
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2010 至 2011
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

硬X線の持つ短波長性や高透過性,蛍光X線などの物質との相互作用を利用した分析技術は,生物学や物理学といった科学の領域にとどまらず、法医学・考古学などの社会の幅広い分野において大きな貢献を果たしている。こうした中で硬X線集光技術は、X線分析に電子顕微鏡に匹敵する空間分解能を持たせ、その検出精度の大幅な向上を可能にするものとして、現在大きな注目を集めている。しかし従来、硬X線領域では波長が極端に短いために、光学的に理想的な集光光学素子を作製するのは困難であるとされてきた。申請者は、この光学素子作製上の問題点を、硬X線集光光学系に高精度形状可変ミラーを使用した波面補償システムを導入することで克服することを目指した。形状可変ミラーには、圧電素子とシリコン基板を貼りあわせたモノモルフ型の構造を採用し、さらに位相シフト干渉計を使用した形状フィードバック機構を構築することにより、硬X線領域で使用するために十分な精度であるサブnm精度での変形形状制御が可能であることを示した。また、開発した形状可変ミラーを使用した波面補償システムを、非球面X線ミラーを用いた二次元集光光学系に導入することにより、これまで実現されたことのない半値幅10nm以下の硬X線集光プローブを形成することに成功した。さらに、形成した集光プローブを用いた走査型顕微鏡の構築を行い、蛍光X線・暗視野・吸収コントラストの各種X線分析においてSub-10nmの空間分解能を実現できていることを確認した。
Hard X-rays are characterized by short wavelength and high transmittance, while light X-rays are used to analyze the interaction between substances and materials. The fields of biology, physics, science, forensic science, archaeology, and social sciences have made great contributions. Hard X-ray collection techniques for X-ray analysis, electron micromirrors, spatial resolution, and detection accuracy can be improved greatly. In the field of hard X-ray, the wavelength is extremely short, and the optical element is ideal for light collection. The applicant pointed out that the optical element manufacturing problem point, hard X-ray collection optical system high precision shape can be changed to use the wave front compensation system to introduce the problem. The shape of the substrate can be changed, and the phase of the substrate can be changed. The shape of the substrate can be changed. The structure of the substrate can be changed. The shape of the laser beam can be changed by using the wavefront compensation method, aspheric X-ray beam compensation method, and two-dimensional optical system can be used to form a hard X-ray beam with a half-width of less than 10nm. In addition, it is confirmed that the spatial resolution energy of Sub-10nm can be found in the construction of micro-mirror, X-ray, dark field, absorption mirror and various X-ray analysis methods.

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
One-dimensional Wolter optics with a sub-50-nm spatial resolution.
空间分辨率低于 50 nm 的一维 Wolter 光学器件。
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.6
  • 作者:
    M.Akita;S.Yoshida;T.Morimoto;T.Ushio;Z.Kawasaki;松山智至
  • 通讯作者:
    松山智至
硬X線ナノ集光ビーム用波面誤差算出法の開発
硬X射线纳米聚焦光束波前误差计算方法的发展
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    M.Akita;T.Morimoto;T.Ushio;Z.Kawasaki;三村秀和;木村隆志
  • 通讯作者:
    木村隆志
Development of Wavefront Measurement Method for Hard X-ray Adaptive Optical System.
硬X射线自适应光学系统波前测量方法的开发。
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    M.Akita;T.Morimoto;T.Ushio;Z.Kawasaki;三村秀和;木村隆志;木村隆志
  • 通讯作者:
    木村隆志
Extended knife-edge method for characterizing Sub-10-nm X-ray beams
用于表征 10 纳米以下 X 射线束的扩展刀口方法
Wavefield characterization of nearly diffraction-limited focused hard x-ray beam with size less than 10 nm.
  • DOI:
    10.1063/1.3509384
  • 发表时间:
    2010-12
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T. Kimura;H. Mimura;Soichiro Handa;H. Yumoto;H. Yokoyama;S. Imai;S. Matsuyama;Y. Sano;K. Tamasaku;Y. Komura;Y. Nishino;M. Yabashi;T. Ishikawa;K. Yamauchi
  • 通讯作者:
    T. Kimura;H. Mimura;Soichiro Handa;H. Yumoto;H. Yokoyama;S. Imai;S. Matsuyama;Y. Sano;K. Tamasaku;Y. Komura;Y. Nishino;M. Yabashi;T. Ishikawa;K. Yamauchi
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  • 通讯作者:
    平沼柊哉,安福勝,麓隆行,脇谷草一郎,小椋大輔
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    0
  • 作者:
    島村 勇徳;竹尾 陽子;木村 隆志;仙波 泰徳;岸本 輝;大橋 治彦;三村 秀和
  • 通讯作者:
    三村 秀和
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
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    0
  • 作者:
    木村 隆志;城地 保昌;別所 義隆;西野 吉則
  • 通讯作者:
    西野 吉則
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  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    木村隆志;城地保昌;別所義隆;西野吉則;木村 隆志
  • 通讯作者:
    木村 隆志
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    島村 勇徳;竹尾 陽子;木村 隆志;仙波 泰徳;岸本 輝;大橋 治彦;三村 秀和
  • 通讯作者:
    三村 秀和

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    2010
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