Study on the Height Precision Compensation Polishing with an Rotation & Revolution Type Polishing Method

旋转高度精密补偿抛光研究

• 批准号: 22360062
• 负责人: LIN Weimin
• 金额: $ 11.65万
• 依托单位: Gunma University (2011-2012)Akita Prefectural University (2010)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360062/
• 关键词: 機械工作・生産工学; 加工学; 精密研磨; 精密部品加工; 修正研磨加工; 砥石; 固定砥粒研磨; 超音波援用研磨; 研磨工具; 研磨砥石; 研磨エリア

In this study, a new polishing that the rotation & revolution type polishing method (RRP) has been proposed. The principle of polishing and the influence of tools wear were discussed. A RRP unit has been developed for the fundamental polishing experiment. In the polishing experiments, glass or die steel workpieces were polished with free abrasive. The results of experiment show that this tool can process a workpiece with good surface roughness and high processing efficiency in the limited dimension of the machine tool.

本研究提出一种新的研磨方法-旋转回转式研磨法。讨论了抛光的原理及刀具磨损对抛光的影响。一个RRP单元已开发的基础抛光实验。在抛光实验中，玻璃或模具钢工件用游离磨料抛光。实验结果表明，该刀具在机床尺寸有限的情况下，能加工出表面粗糙度好、加工效率高的工件。

项目成果

超音波援用化学機械複合固定砥粒加工によるSiウェハの高能率鏡面加工

采用超声波辅助化学机械联合固定磨料加工对硅片进行高效镜面精加工

• 发表时间: 2012
• 作者: M. Uchida;N. Tada;Y. Tomita;宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波
• 通讯作者: 宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波

Precision manufacturing of fused silica glass by combining bound-abrasive polishing with ultrasonic vibration

• DOI: 10.1117/12.975135
• 发表时间: 2012-10
• 作者: Yaguo Li;Yongbo Wu;Jian Wang;Qiao Xu;Wei Yang;Yinbiao Guo

低周波振動援用による微細構造を持つ形状物の研磨

利用低频振动抛光具有精细结构的异形物体

• 发表时间: 2012
• 作者: T.Takaki;Y.Tomita;林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎
• 通讯作者: 林偉民,徐世傑,矢野健,藤本正和,呉勇波,鈴木浩文,樋口俊郎

自転/公転型研磨法による加工特性について

关于自转/公转式研磨法的加工特性

• 发表时间: 2011
• 作者: T.Fukuda;A.Saitoh;江龍 修;大村元志,佐々木宇宙,藤本正和,呉勇波,林偉民
• 通讯作者: 大村元志,佐々木宇宙,藤本正和,呉勇波,林偉民

Development of Micro Polishing System Using Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism

机械振幅放大机构压电驱动器微抛光系统的研制

• 发表时间: 2013
• 期刊: International Journal of Automation Technology (IJAT)
• 作者: Sze Keat Chee;Hirofumi Suzuki;Takeshi Yano;Toshiro Higuchi and Weimin Lin
• 通讯作者: Toshiro Higuchi and Weimin Lin