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Study of elementary process of novel cleaning method by investigation of surrounding condensable vapor effect on single droplet drag reduction

周围可凝汽对单液滴减阻效应研究新型清洗方法基本过程

基本信息

批准号：
22360073
负责人：
WATANABE Masao
金额：
$ 11.98万
依托单位：
Hokkaido University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
起止时间：
2010 至 2012
项目状态：
已结题

项目摘要

In the cleaning processes of manufacturing semiconductor deVices, two-fluidspray cleaning technique is widely used. In this study, we fbcus our attention to the elementary process ofthis cleaning technique, i.e. a single droplet impact on a solid surface. We experimentally observe impact ofsingle droplet on a rigid solid surface. Especially we focus on the effects of surfaces tension, surfaceroughness and surrounding pressure. Decrease of the surrounding gas pressure makes droplets alwayscreate lamella even in the cases with low surface tension and rough surfaces

在半导体器件制造的清洗工艺中，双液雾清洗技术得到了广泛的应用。在这项研究中，我们重点关注这种清洗技术的基本过程，即单个液滴撞击固体表面。我们通过实验观察了单个液滴对刚性固体表面的影响。重点研究了表面张力、表面粗糙度和周围压力的影响。周围气体压力的降低使液滴即使在低表面张力和粗糙表面的情况下也总是形成薄层。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

水蒸気と水の混合噴流による洗浄技術

使用蒸汽和水混合喷射的清洁技术

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
砥粒加工学会誌
影响因子：
0
作者：
Matsuda;Fushinobu;Ohma;Okazaki;長谷部恭紳,辻知宏,蝶野成臣;真田俊之,渡部正夫,関映子,林田充司
通讯作者：
真田俊之,渡部正夫,関映子,林田充司

High-Speed Droplet Impact as an Elementary Process of Physical Cleaning

高速液滴冲击作为物理清洁的基本过程

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
T,Fujikawa;Y. Tatekura;K. Kobayashi;T. Sanada;A. Hayashida;M. Watanabe
通讯作者：
M. Watanabe

Derivation of Nonlinear Wave Equations for Ultrasound Beam in Nonuniform Bubbly Liquids

非均匀气泡液体中超声束非线性波动方程的推导

DOI：
10.1063/1.4749316
发表时间：
2012
期刊：
AIP Conference Proceedings
影响因子：
0
作者：
T. Kanagawa;T. Yano;J. Kawahara;K. Kobayashi;M. Watanabe;S.Fujikawa
通讯作者：
S.Fujikawa

水蒸気と水の混合噴流による表面薄膜はく離(アルミニウム蒸着膜のはく離特性と表面温度変化の影響)

水蒸气与水的混合喷射导致的表面薄膜剥离（铝蒸镀膜的剥离特性及表面温度变化的影响）

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
混相流
影响因子：
0
作者：
Tanaka Y;Akaike H;Su g i i Y ;Kitamori T;鈴木博貴，長田孝二，酒井康彦;真田俊之,橋本健太郎,林田充司,小林一道,渡部正夫
通讯作者：
真田俊之,橋本健太郎,林田充司,小林一道,渡部正夫

固体表面に高速衝突する液滴におけるスプラッシュの観察

液滴与固体表面高速碰撞时飞溅的观察

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
0
作者：
蝶野成臣;辻知宏;植原慎一郎;林郁昌;植村亮一,小林一道,藤川俊秀,真田俊之,渡部正夫
通讯作者：
植村亮一,小林一道,藤川俊秀,真田俊之,渡部正夫

DOI：
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作者：
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作者：
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作者：
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作者：
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WATANABE Masao其他文献

Liquid Infiltration into a Closed-End Hole by the Impingement of a Droplet Train

通过液滴列的冲击液体渗透到封闭孔中

DOI：
10.3811/jjmf.30.511
发表时间：
2017
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF MULTIPHASE FLOW
影响因子：
0
作者：
SANADA Toshiyuki;FURUYA Yuki;MURAKI Shunsuke;WATANABE Masao;土田　陽一，杉浦　史剛;山口えり，真田俊之
通讯作者：
山口えり，真田俊之

Observation of liquid infiltration into a closed-end hole by acoustic wave irradiation

声波照射观察液体渗入闭口孔

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
SANADA Toshiyuki;FURUYA Yuki;MURAKI Shunsuke;WATANABE Masao;土田　陽一，杉浦　史剛;山口えり，真田俊之;土田　陽一，松岡　裕也，杉浦　史剛;村木駿介，山本翔也，真田俊之，渡部正夫;FURUYA Yuki
通讯作者：
FURUYA Yuki

Observation of the liquid film on a circular plate formed by a droplet train impingement

液滴列撞击圆板上形成液膜的观察

DOI：
10.1299/transjsme.17-00047
发表时间：
2017
期刊：
Transactions of the JSME (in Japanese)
影响因子：
0
作者：
SANADA Toshiyuki;FURUYA Yuki;MURAKI Shunsuke;WATANABE Masao;土田　陽一，杉浦　史剛;山口えり，真田俊之;土田　陽一，松岡　裕也，杉浦　史剛;村木駿介，山本翔也，真田俊之，渡部正夫
通讯作者：
村木駿介，山本翔也，真田俊之，渡部正夫

遠心分級方式における分級産物と性能評価法の見直し(実験的考察)

离心分级法中分级产品及性能评价方法的回顾（实验考虑）

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
SANADA Toshiyuki;FURUYA Yuki;MURAKI Shunsuke;WATANABE Masao;土田　陽一，杉浦　史剛
通讯作者：
土田　陽一，杉浦　史剛

スチュワートソン層を用いた微粒子分級方式の性能の実験的評価

使用Stewartson层的细颗粒分类方法性能的实验评估

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
SANADA Toshiyuki;FURUYA Yuki;MURAKI Shunsuke;WATANABE Masao;土田　陽一，杉浦　史剛;山口えり，真田俊之;土田　陽一，松岡　裕也，杉浦　史剛
通讯作者：
土田　陽一，松岡　裕也，杉浦　史剛