Research and Development of MEMS Miniaturized Inductive Power Generator with Multilayer Ceramic Magnetic Circuit

多层陶瓷磁路MEMS小型感应发电机的研制

• 批准号: 22560254
• 负责人: UCHIKOBA Fumio
• 金额: $ 1.75万
• 依托单位: Nihon University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560254/
• 关键词: マイクロ; ナノメカトロニクス; MEMS; 積層セラミック; 発電機; エアタービン; 電磁誘導; エアータービン; 磁気回路

Combining different technical field of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) and multilayer ceramic system, miniaturized air turbine generators of millimeter size was developed. MEMS and multilayer technologies were adopted to the air turbine part and electromagnetic induction part, respectively. We achieved low leak magnetic flux and low internal resistance by developing the multilayer magnetic circuit. The maximum power was 1.53mVA when a spindle air turbine was used with the developed magnetic circuit.

结合MEMS（微机电系统）和多层陶瓷系统的不同技术领域，研制了毫米级的微型空气涡轮发电机。空气涡轮部分和电磁感应部分分别采用了MEMS和多层技术。通过开发多层磁路，实现了低漏磁通和低内阻。所研制的磁路采用主轴式空气涡轮时，最大功率为1.53mVA。

项目成果

Patterning of Different Materials Inside LTCC Green Sheet Using Photo Resist Film

使用光致抗蚀剂薄膜在 LTCC 生片内不同材料形成图案

• 发表时间: 2011
• 作者: M.Takato;F.Uchikoba
• 通讯作者: F.Uchikoba

電磁誘導式MEMSエアタービン発電機に用いる積層磁気回路についての検討

电磁感应MEMS空气涡轮发电机叠层磁路研究

• 发表时间: 2013
• 作者: 金子真人;遠藤弘彬;片山晃;高藤美泉;齊藤健;内木場文男
• 通讯作者: 内木場文男

MEMSとセラミック磁性体を用いた超小型電磁誘導式エアタービン発電機の開発

使用MEMS和陶瓷磁性材料开发超小型电磁感应空气涡轮发电机

• 发表时间: 2010
• 作者: 飯塚茜;石垣克磨;滝川勇介;大瀬智昭;齊藤健;内木場文男
• 通讯作者: 内木場文男

Millimeter Scale MEMS Air Turbine Generator by Winding Wire and Multilayer Magnetic Ceramic Circuit

采用绕组线和多层磁性陶瓷电路的毫米级 MEMS 空气涡轮发电机

• DOI: 10.4236/mme.2012.22006
• 发表时间: 2012
• 期刊: Modern Mechanical Engineering
• 作者: A. Iizuka;M. Takato;M. Kaneko;T. Nishi;K. Saito;F. Uchikoba
• 通讯作者: F. Uchikoba

積層セラミック技術を応用したMEMSマイクロ発電機の開発

应用多层陶瓷技术开发MEMS微型发电机

• 发表时间: 2011
• 作者: 長尾光雄;遠藤徳雄;横田理;飯塚茜,千葉城治,高藤美泉,齊藤健,内木場文男
• 通讯作者: 飯塚茜,千葉城治,高藤美泉,齊藤健,内木場文男