Development of Sub-Nano Position Control for Slight Movement Stage Driven by Pneumatic Bellows Using Low Flow Noise Type Valve

使用低流量噪声型阀门开发气动波纹管驱动微动平台的亚纳米位置控制

• 批准号: 22560251
• 负责人: FUJITA Toshinori
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Tokyo Denki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560251/
• 关键词: 精密機械システム; 機械要素; 流体工学; 空気圧; 超精密位置決め

The study on ultra-precise positioning moves focus from nano positioning to sub-nano positioning. In this study, we fabricated the slight movement stage driven by the pneumatic bellows for ultra precise positioning, covering the shortcomings of piezoelectric element. To increase positioning accuracy of this stage, the low flow noise type servo vale, which reduce the small pressure disturbance by using clearance flow, and the control method driving this stage were developed. Finally, we realized ultimate level of sub-nano positioning.

超精密定位的研究将焦点从纳米定位转移到亚纳米定位。在本研究中，我们利用气动波纹管驱动微动台，以达到超精密定位的目的，以弥补压电元件的缺点。为提高该工作台的定位精度，研制了利用间隙流减小微小压力扰动的低流噪型伺服阀，并设计了驱动该工作台的控制方法。最终实现了亚纳米级的定位。

项目成果

ベローズで駆動する空気圧微動ステージの超精密位置決め制御

波纹管驱动气动微动平台超精密定位控制

• 发表时间: 2010
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲;山本敏之;山本敏之;山本敏之;藤田壽憲
• 通讯作者: 藤田壽憲

空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージのナノ位置決め

由气动波纹管驱动的静态引导精细运动平台的纳米定位

• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲;山本敏之;山本敏之;山本敏之;藤田壽憲;山本敏之;村木雄飛;村木雄飛
• 通讯作者: 村木雄飛

空気圧ベローズを用いた静圧案内微動ステージの超精密位置決め

使用气动波纹管的静压引导微动平台的超精密定位

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲
• 通讯作者: 藤田壽憲

空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め制御

气动波纹管驱动静压引导微动平台超精密定位控制

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲
• 通讯作者: 藤田壽憲

空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め

气动波纹管驱动静压引导微动平台的超精密定位

• 发表时间: 2011
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲;山本敏之;山本敏之
• 通讯作者: 山本敏之