Efficient method for ordered nano dot array fabrication by combination of machining and self-organization process

机械加工与自组织工艺相结合的有序纳米点阵列制造的有效方法

• 批准号: 23360065
• 负责人: YOSHINO Masahiko
• 金额: $ 12.31万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360065/
• 关键词: マイクロナノデバイス; 機械工作・生産工学; 先端機能デバイス; ナノ材料; 精密部品加工; 自己組織化; 光学特性; マイクロ・ナノデバイス; 機械加工; 超精密加工; 光学機能; マイクロアレイ; ナノインプリント; 薄膜モールド; ナノ・マイクロ加工; ナノドット; 塑性加工; ナノデバイス; 局在表面プラズモン共鳴; インプリンティング; 薄膜

This project aimed to develop efficient processes at a low cost to produce the gold nano dot array having 10nm level. The conclusions obtained from the project is the following three.Nano-dot arrays with a diameter of smaller than 100nm can be produced by a combination process of patterning by the nano plastic forming and self-organization by annealing.It is efficient to employ the nanoimprinting process to groove grid patterning in order to improve productivity of nano dot arrays. It was shown that nanodot arrays exhibit unique optical properties, and the potential for industrial applications as biosensors was shown.

该项目旨在以低成本开发有效的工艺来生产具有10 nm水平的金纳米点阵列。本课题得到的主要结论有三点：纳米塑料成型构图和退火自组织相结合的方法可以制备出直径小于100 nm的纳米点阵列;采用纳米压印技术对纳米点阵列进行沟槽网格构图是提高纳米点阵列生产率的有效方法。结果表明，纳米点阵列具有独特的光学性质，并显示出作为生物传感器的工业应用潜力。

项目成果

Rapid fabrication of ordered plasmonic nanostructures: from nanoblocks to nanorods

快速制造有序等离子体纳米结构：从纳米块到纳米棒

• 发表时间: 2014
• 作者: Zhenxing Li;Masahiko Yoshino
• 通讯作者: Masahiko Yoshino

科学研究費補助金（基盤研究(B)）

科学研究补助金（基础研究（B））

Rapid fabrication of ordered plasmonic nanostructures : from nanoblocks to nanorods

有序等离子体纳米结构的快速制造：从纳米块到纳米棒

• 发表时间: 2014
• 作者: Zhenxing Li;Masahiko Yoshino
• 通讯作者: Masahiko Yoshino

焼鈍法により生成した金属ナノドットの形態とそのLSPR特性

退火法制备金属纳米点的形貌及其局域表面等离子体共振性能

• 发表时间: 2013
• 作者: 吉野雅彦;Truong Duc Phuc
• 通讯作者: Truong Duc Phuc

Optical properties of multilayer ordered gold nanodot array fabricated by thermal dewetting method

热去湿法制备多层有序金纳米点阵列的光学特性

• 发表时间: 2013
• 作者: Zhenxing Li;Masahiko Yoshino;Akinori Yamanaka
• 通讯作者: Akinori Yamanaka