Low temperature polycrystalline thin film transistors for next generation high performance display

用于下一代高性能显示器的低温多晶薄膜晶体管

• 批准号: 23360137
• 负责人: URAOKA Yukiharu
• 金额: $ 12.65万
• 依托单位: Nara Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360137/
• 关键词: 薄膜トランジスタ; レーザ結晶化; 無機EL; ディスプレイ; シリコン薄膜; プローブ顕微鏡; ホットキャリア; マイクロ波; レーザー照射; 水中レーザ; 結晶化; 結晶粒; 欠陥; 水素化; シリコン; レーザ照射; 多結晶シリコン; 硫化亜鉛; 高圧水蒸気処理

In this study, we proposed the fabrication of high performance thin film transistors (TFT) and inorganic electro luminescence panel. For the fabrication of TFTs, crystallization of Si thin film in water, inactivation of channel surface and activation of impurity were mainly performed. For the fabrication of inorganic EL, enhancement of light intensity by irradiation of micro wave and thinning of phosphor layer by atomization were mainly performed. In particular, local analysis of electronic property using probe microscope and hot carrier analysis using emission microscope were performed to improve the performance and reliability. Successfully we could demonstrate the panel operation on plastic substrate.

在本研究中，我们提出了高性能薄膜晶体管（TFT）和无机电致发光面板的制造。薄膜晶体管的制备主要包括硅薄膜的水晶化、沟道表面钝化和杂质的活化。对于无机EL的制造，主要进行了通过微波照射来增强光强度和通过雾化来减薄磷光体层。特别是，使用探针显微镜和热载流子分析，使用发射显微镜进行局部分析的电子性能，以提高性能和可靠性。我们可以成功地在塑料基板上演示面板操作。

项目成果

Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistor Utilizing Self-Assembled Monolayer for Crystallization

利用自组装单层结晶的多晶硅薄膜晶体管

• 发表时间: 2013
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: Yosuke Tojo;Atsushi Miura;Yasuaki Ishikawa;Ichiro Yamashita and Yukiharu Uraoka
• 通讯作者: Ichiro Yamashita and Yukiharu Uraoka

Themal Distribution in Amorphous InSnZnO Thin-Film Transistor

非晶 InSnZnO 薄膜晶体管的热分布

• 作者: Satoshi Urakawa;Shigekazu Tomai;Yoshihiro Ueoka;Haruka Yamazaki;Masashi Kasami;Koki Yano;Dapeng Wang;Mamoru Furuta;Masahiro Horita;Yasuaki Ishikawa;and Yukiharu Uraoka
• 通讯作者: and Yukiharu Uraoka

保護膜を具備するはくトランジスタ基板およびその製造方法

具有保护膜的纤维晶体管基板及其制造方法

• 发表时间: 2014

Nonvolatile flash memory based on biologically-integrated hierarchical nanostructures.

基于生物集成分层纳米结构的非易失性闪存。

• DOI: 10.1021/la402742f
• 发表时间: 2013
• 期刊: Langmuir
• 影响因子: 3.9
• 作者: Sano,K.;Miura,A.;Shiba,K.;et al
• 通讯作者: et al

Thin Film Devices Fabricated on Double-Layered Polycrystalline Silicon Films Formed by Green Laser Annealing

在绿光激光退火形成的双层多晶硅薄膜上制造薄膜器件

• DOI: 10.1143/jjap.51.03ca03
• 发表时间: 2012
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: 今泉悠佑;植田義幸;松本直樹;仙波伸也;浅田裕法;岸本堅剛;小柳剛;西永慈郎;Koji Yamasaki
• 通讯作者: Koji Yamasaki