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Synthesis of diamond film by in-liquid plasma CVD

Synthesis of diamond film by in-liquid plasma CVD
液内等离子体CVD法合成金刚石薄膜
批准号：
23360326
负责人：
TOYOTA Hiromichi
金额：
$12.23万
依托单位：
Ehime University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360326/
关键词：
プラズマ加工材料加工・処理結晶成長表面・界面物性

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プラズマ発生装置
等离子发生器
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
A practical electrode for microwave plasma processes
用于微波等离子体工艺的实用电极
DOI： --
发表时间： 2013
期刊： International Journal of Materials Science and Applications
影响因子： --
作者： [H. Toyota, S. Nomura, S. Mukasa]
通讯作者： S. Mukasa
Experimental Investigation of Optimal Conditions for High-Speed Diamond Synthesis by In-liquid Plasma CVD Method
液相等离子体CVD法高速合成金刚石最佳条件的实验研究
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiromichi Toyota, Shoma Ikeda, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa, 豊田　洋通, H.Toyota]
通讯作者： H.Toyota
High speed deposition of diamond film using in liquid-plasma CVD method
液体等离子体CVD法高速沉积金刚石薄膜
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiromichi Toyota, Shoma Ikeda, Shinfuku Nomura, Shinobu Mukasa]
通讯作者： Shinobu Mukasa
共 9 条
    Interaction between Bubble and Substrate by In-Liquid Plasma CVD Process
    • 批准号：
      20360335
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.48万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      TOYOTA Hiromichi
    • 依托单位：
      Ehime University
    High speed synthesis of diamond using in-liquid plasma
    • 批准号：
      17560636
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.28万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      TOYOTA Hiromichi
    • 依托单位：
      Ehime University